[实用新型]一种晶圆盒双轴联动输送机构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆盒双轴联动输送机构，包括机架、载料盘、双轴滑移组件以及交替托抬组件，双轴滑移组件包括X轴滑移组件和Y轴滑移组件，X轴滑移组件包括X轴滑移气缸、X轴滑轨、X轴导杆以及交替托抬组件，交替托抬组件固定在X轴滑移气缸上，包括顶升气缸、连接板、抬架以及承托盘，承托盘通过固定板连接，下端连接伸缩气缸，伸缩气缸底座固连有支架，支架两端分别固连有Y轴滑移组件和滑块。该晶圆盒双轴联动输送机构利用X轴滑移组件和Y轴滑移组件构成的双轴联动动作，通过抬架上下左右位移动作将晶圆盒进行抬升移送，再由承托盘承载晶圆盒供料，由下一工位的机械手抓料，自动化程度高，实用方便，适用性强。