[实用新型]一种晶圆盒双轴联动输送机构有效
| 申请号： | 201920697770.4 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN210192747U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 杨仕品 | 申请（专利权）人： | 昆山市智程自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) 32354 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆盒双轴 联动 输送 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆盒双轴联动输送机构，包括机架、载料盘、双轴滑移组件以及交替托抬组件，其特征在于：所述机架上固定有双轴滑移组件的挡罩，一侧固连有载料盘，所述载料盘固定位置对应所述双轴滑移组件的X轴滑移组件一端，配合所述X轴滑移组件的抬架抬起晶圆盒，所述双轴滑移组件包括X轴滑移组件和Y轴滑移组件，所述X轴滑移组件包括X轴滑移气缸、X轴滑轨、X轴导杆以及交替托抬组件，所述交替托抬组件固定在所述X轴滑移气缸上，包括固定在X轴滑移气缸上的顶升气缸、连接板、与连接板固连的抬架以及承托盘，所述承托盘通过固定板连接，下端连接伸缩气缸，所述伸缩气缸底座固连有支架，所述支架两端分别固连有Y轴滑移组件和滑块。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒双轴联动输送机构，其特征在于：所述Y轴滑移组件包括Y轴滑移气缸、Y轴滑轨和Y轴导杆。
3.根据权利要求1所述的晶圆盒双轴联动输送机构，其特征在于：所述承托盘位于所述抬架的行程下方，与所述顶升气缸的上下交替升降动作时互不干涉。
4.根据权利要求1所述的晶圆盒双轴联动输送机构，其特征在于：所述滑块与固定在一侧的条形滑轨配合滑动。
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