[实用新型]真空腔室的狭缝阀装置有效
| 申请号： | 201920622660.1 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN210135234U | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 官大发 | 申请（专利权）人： | 葳明科技有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/06 | 分类号： | F16J15/06;F16K51/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;李林 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型是一种真空腔室的狭缝阀装置，包括致动器、定位组件、连杆机构及挡掣组件。致动器具有致动杆；定位组件包含下定位座及一对定位板，定位板成型有滑槽及定位槽；连杆机构包含基座、肘节连杆组、滑块连杆，且滑块设置有滑轮，连杆机构在致动器的驱动下带动滑块移动从而令滑轮在滑槽中移动及定位在定位槽中；挡掣组件包含结合连杆的挡块及挡板，挡板在滑轮定位在定位槽中时会朝真空腔室的开口的方向移动，并在连杆的带动下进行压掣，以简化狭缝阀装置的结构，并提高真空腔室的开口上密封元件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 狭缝 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于葳明科技有限公司，未经葳明科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920622660.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种全自动静电喷粉设备
- 下一篇：长筒式吸热组件
