[实用新型]真空腔室的狭缝阀装置

权利要求书

1.一种真空腔室的狭缝阀装置，用以对所述真空腔室的开口进行密封，其特征在于，包括:

一致动器，具有一致动杆；

一定位组件，包含结合在该致动器的一下定位座及设置在该下定位座的相对侧的一对定位板，该一对定位板分别在相对的一侧面成型有一滑槽及连通且凸出该滑槽一侧的一定位槽；

一连杆机构，设置在该一对定位板之间，该连杆机构包含结合有该致动杆的一基座及结合在该基座上的一肘节连杆组、连接该肘节连杆组的一滑块及连接该滑块的一连杆，且该滑块设置有一滑轮，该连杆机构在该致动器的驱动下带动该滑块移动，从而令该滑轮在该滑槽中移动及定位在该定位槽中；以及

一挡掣组件，包含结合有该连杆的一挡块及固定在该挡块上的一挡板，该挡板在该滑轮定位在该定位槽中时会朝所述真空腔室的开口的方向移动，并在该连杆的带动下对所述真空腔室的开口进行压掣。

2.如权利要求1所述的真空腔室的狭缝阀装置，其特征在于：该下定位座具有一通孔，该致动杆穿过该通孔而结合在该基座的一底侧。

3.如权利要求1所述的真空腔室的狭缝阀装置，其特征在于：该肘节连杆组包括一固定杆及一曲柄，该固定杆固定在该基座，该曲柄的一端连接该固定杆，另一端连接该滑块。

4.如权利要求3所述的真空腔室的狭缝阀装置，其特征在于：该连杆机构还包括一第一穿轴，该固定杆具有一第一穿孔，该固定杆通过该第一穿轴穿过该第一穿孔而固定在该基座。

5.如权利要求4所述的真空腔室的狭缝阀装置，其特征在于：该基座成型有一容置槽，该固定杆的至少一部分穿置在该容置槽中。

6.如权利要求5所述的真空腔室的狭缝阀装置，其特征在于：该连杆机构还包括一调整件，该基座的一侧成型有连通该容置槽的一调整孔，该调整件自该调整孔穿入该容置槽而能够推掣该固定杆的一端。

7.如权利要求4所述的真空腔室的狭缝阀装置，其特征在于：该连杆机构还包括一第二穿轴，该固定杆具有一第二穿孔，且该曲柄具有一开槽及位于该开槽二侧的一对第三穿孔，该第二穿轴穿设该第二穿孔及该一对第三穿孔而使该固定杆的一端穿置在该开槽中。

8.如权利要求7所述的真空腔室的狭缝阀装置，其特征在于：该连杆机构还包括一第三穿轴，该滑块的一底侧成型有一对凸板，该一对凸板分别设有一结合孔，该曲柄的一端设有一第四穿孔，该曲柄通过该第三穿轴穿过该结合孔及该第四穿孔而结合在该滑块。

9.如权利要求1所述的真空腔室的狭缝阀装置，其特征在于：还包括一上定位座及一弹簧，该上定位座具有一环型定位部，该弹簧套置在该连杆外，且该弹黄的一侧抵置在该环型定位部中，另一侧抵止在该滑块上。

10.如权利要求1所述的真空腔室的狭缝阀装置，其特征在于：还包括一安装箱，该安装箱具有一安装空间及连通该安装空间的一安装口，所述真空腔室的开口设置在该安装箱的一侧面，该连杆的一端自该安装口伸入该安装空间从而使该挡掣组在该安装空间中移动。

11.如权利要求10所述的真空腔室的狭缝阀装置，其特征在于：还包括一密封元件，该密封元件设置在该安装空间中并围合所述真空腔室的开口的一周缘。