[实用新型]真空腔室的狭缝阀装置

说明书

本实用新型是一种真空腔室的狭缝阀装置，包括致动器、定位组件、连杆机构及挡掣组件。致动器具有致动杆；定位组件包含下定位座及一对定位板，定位板成型有滑槽及定位槽；连杆机构包含基座、肘节连杆组、滑块连杆，且滑块设置有滑轮，连杆机构在致动器的驱动下带动滑块移动从而令滑轮在滑槽中移动及定位在定位槽中；挡掣组件包含结合连杆的挡块及挡板，挡板在滑轮定位在定位槽中时会朝真空腔室的开口的方向移动，并在连杆的带动下进行压掣，以简化狭缝阀装置的结构，并提高真空腔室的开口上密封元件的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及半导体装置，尤指一种真空腔室的狭缝阀装置。

背景技术

一般电子元件的制程在半导体设备中大多是在真空腔室中进行；此外，真空腔室的开口启闭则会通过狭缝阀装置(Lit Device)的反复运动来控制。

又，为了维持狭缝阀装置及真空腔室的开口之间的密封性，真空腔室的开口周缘会设置如O-ring等气密元件。此外，狭缝阀装置的挡板系沿着真空腔室外侧面作一维方向的直线移动，以贴接并压掣在开口周缘的气密元件上，进而对真空腔室的开口形成密封作用。然而，此种移动方式的狭缝阀装置会对气密元件产生较大的损耗，导致需经常更换气密元件。再者，传统的狭缝阀装置若要在二个方向上作移动，则需设置二个致动元件来带动完成，不但占用空间，且会造成成本大幅提高。

有鉴于此，本实用新型设计人遂针对上述现有技术，特潜心研究并配合学理的运用，尽力解决上述的问题点，即成为本实用新型设计人的研究动机。

实用新型内容

本实用新型的一目的，在于提供一种真空腔室的狭缝阀装置，其系在真空腔室的开口周缘会设置如O-ring等气密元件，通过滑块随着滑轮而向一侧移动而使挡板朝真空腔室的开口的方向移动，以提高密封元件的使用寿命。

本实用新型的另一目的，在于提供一种真空腔室的狭缝阀装置，以简化整体结构及降低成本。

为了达成上述的目的，本实用新型是一种真空腔室的狭缝阀装置，用以对所述真空腔室的开口进行密封，其特征在于，包括:

一致动器，具有一致动杆；

一定位组件，包含结合在该致动器的一下定位座及设置在该下定位座的相对侧的一对定位板，该一对定位板分别在相对的一侧面成型有一滑槽及连通且凸出该滑槽一侧的一定位槽；

一连杆机构，设置在该一对定位板之间，该连杆机构包含结合有该致动杆的一基座及结合在该基座上的一肘节连杆组、连接该肘节连杆组的一滑块及连接该滑块的一连杆，且该滑块设置有一滑轮，该连杆机构在该致动器的驱动下带动该滑块移动，从而令该滑轮在该滑槽中移动及定位在该定位槽中；以及

一挡掣组件，包含结合有该连杆的一挡块及固定在该挡块上的一挡板，该挡板在该滑轮定位在该定位槽中时会朝所述真空腔室的开口的方向移动，并在该连杆的带动下对所述真空腔室的开口进行压掣。

所述的真空腔室的狭缝阀装置，其中：该下定位座具有一通孔，该致动杆穿过该通孔而结合在该基座的一底侧。

所述的真空腔室的狭缝阀装置，其中：该肘节连杆组包括一固定杆及一曲柄，该固定杆固定在该基座，该曲柄的一端连接该固定杆，另一端连接该滑块。

所述的真空腔室的狭缝阀装置，其中：该连杆机构还包括一第一穿轴，该固定杆具有一第一穿孔，该固定杆通过该第一穿轴穿过该第一穿孔而固定在该基座。

所述的真空腔室的狭缝阀装置，其中：该基座成型有一容置槽，该固定杆的至少一部分穿置在该容置槽中。

所述的真空腔室的狭缝阀装置，其中：该连杆机构还包括一调整件，该基座的一侧成型有连通该容置槽的一调整孔，该调整件自该调整孔穿入该容置槽而能够推掣该固定杆的一端。