[实用新型]单晶炉石英坩埚的升降装置有效
| 申请号: | 201920585430.2 | 申请日: | 2019-04-26 |
| 公开(公告)号: | CN210085624U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
| 发明(设计)人: | 魏海宁;林希宪;张艳辉 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 32205 | 代理人: | 华德明 |
| 地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开一种单晶炉石英坩埚的升降装置,包括底座,所述底座的上表面中部设有升降机构,升降机构的上端面设有旋转机构,旋转机构的输出轴连接有坩埚,底座的上端面设有螺杆,螺杆的外侧面上端套接有环形定位板,螺杆的外侧面靠近环形定位板的下表面的一端螺纹连接有第二螺母,螺杆的外侧面上端螺纹连接有第一螺母,本单晶炉石英坩埚的升降装置,结构紧凑,操作方便,使用时占用空间小,可以对工作中的坩埚起到很好的减震作用,同时又能对坩埚进行升降调节,通过带头螺柱可以将万向球轴承紧压在坩埚的外表面,方便了坩埚的定位,通过带头螺柱可以对大小不同的坩埚进行卡接定位。 | ||
| 搜索关键词: | 单晶炉 石英 坩埚 升降 装置 | ||
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