[实用新型]单晶炉石英坩埚的升降装置

说明书

本实用新型公开一种单晶炉石英坩埚的升降装置，包括底座，所述底座的上表面中部设有升降机构，升降机构的上端面设有旋转机构，旋转机构的输出轴连接有坩埚，底座的上端面设有螺杆，螺杆的外侧面上端套接有环形定位板，螺杆的外侧面靠近环形定位板的下表面的一端螺纹连接有第二螺母，螺杆的外侧面上端螺纹连接有第一螺母，本单晶炉石英坩埚的升降装置，结构紧凑，操作方便，使用时占用空间小，可以对工作中的坩埚起到很好的减震作用，同时又能对坩埚进行升降调节，通过带头螺柱可以将万向球轴承紧压在坩埚的外表面，方便了坩埚的定位，通过带头螺柱可以对大小不同的坩埚进行卡接定位。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉内的坩埚技术改进领域，具体为一种单晶炉石英坩埚的升降装置。

背景技术

众所周知，石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。尤其是生产单晶硅的单晶炉中的重要部件。然而现有的单晶炉中，石英坩埚固定安装在单晶炉内，石英坩埚在竖直方向上的高度无法进行调节；因此当石英坩埚内液体较少时，析出的单晶硅位于单晶炉内较低的位置，造成单晶硅的取出困难。同时现有石英坩埚大都不具备减震功能，石英坩埚在旋转时有可能发生摇晃，从而导致原料从石英坩埚内飞出，影响单晶硅的生产。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种单晶炉石英坩埚的升降装置，可以有效对坩埚进行减震固定，给单晶硅的安全生产使用带来了便利，而且可以很方便的进行坩埚升降，进一步提升了本实用新型的使用效率，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型一种单晶炉石英坩埚的升降装置，包括底座，所述底座的上表面中部设有升降机构，升降机构的上端面设有旋转机构，旋转机构的输出轴连接有坩埚，底座的上端面设有螺杆，螺杆的外侧面上端套接有环形定位板，螺杆的外侧面靠近环形定位板的下表面的一端螺纹连接有第二螺母，螺杆的外侧面上端螺纹连接有第一螺母，第一螺母的下端面与环形定位板的上表面之间设有第一减震弹簧，环形定位板的上表面设有定位肋板，定位肋板通过设置在其外侧面中部连接有带头螺柱,带头螺柱的外侧面靠近坩埚的一端连接有万向球轴承。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底座的上表面设有安装孔，安装孔的数量为三个，三个安装孔均匀分布在底座的上表面。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述升降机构由液压伸缩杆构成，旋转机构由步进电机构成。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述螺杆的数量为三个，三个螺杆均匀分布在底座的上表面。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述旋转机构的下表面与底座的上表面之间设有伸缩杆。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述伸缩杆的数量为三个，三个伸缩杆均匀分布在旋转机构的下表面。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底座的上表面靠近螺杆的一端设有第一内螺纹套筒，第一内螺纹套筒的内侧面与螺杆的外侧面下端螺纹连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述定位肋板的外侧面中部设有第二内螺纹套筒，第二内螺纹套筒的内侧面与带头螺柱的完成螺纹连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述定位肋板的数量为三个，三个定位肋板均匀分布在环形定位板的上表面。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述旋转机构的动力输出轴与坩埚的下端面采用定位法兰盘固定连接。

与现有技术相比，本实用新型结构紧凑，操作方便，使用时占用空间小，可以对工作中的坩埚起到很好的减震作用，同时又能对坩埚进行升降调节，通过带头螺柱可以将万向球轴承紧压在坩埚的外表面，方便了坩埚的定位，通过带头螺柱可以对大小不同的坩埚进行卡接定位。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；