[实用新型]单晶炉石英坩埚的升降装置

权利要求书

1.一种单晶炉石英坩埚的升降装置，包括底座(3)，其特征在于，底座(3)的上表面中部设有升降机构(17)，升降机构(17)的上端面设有旋转机构(16)，旋转机构(16)的输出轴连接有坩埚(7)，底座(3)的上端面设有螺杆(5)，螺杆(5)的外侧面上端套接有环形定位板(6)，螺杆(5)的外侧面靠近环形定位板(6)的下表面的一端螺纹连接有第二螺母(11)，螺杆(5)的外侧面上端螺纹连接有第一螺母(9)，第一螺母(9)的下端面与环形定位板(6)的上表面之间设有第一减震弹簧(10)，环形定位板(6)的上表面设有定位肋板(2)，定位肋板(2)通过设置在其外侧面中部连接有带头螺柱(1),带头螺柱(1)的外侧面靠近坩埚(7)的一端连接有万向球轴承(8)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，底座(3)的上表面设有安装孔(4)，安装孔(4)的数量为三个，三个安装孔(4)均匀分布在底座(3)的上表面。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，升降机构(17)由液压伸缩杆构成，旋转机构(16)由步进电机构成。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，螺杆(5)的数量为三个，三个螺杆(5)均匀分布在底座(3)的上表面。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，旋转机构(16)的下表面与底座(3)的上表面之间设有伸缩杆(12)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，伸缩杆(12)的数量为三个，三个伸缩杆(12)均匀分布在旋转机构(16)的下表面。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，底座(3)的上表面靠近螺杆(5)的一端设有第一内螺纹套筒(14)，第一内螺纹套筒(14)的内侧面与螺杆(5)的外侧面下端螺纹连接。

8.根据权利要求7所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，定位肋板(2)的外侧面中部设有第二内螺纹套筒(15)，第二内螺纹套筒(15)的内侧面与带头螺柱(1)的完成螺纹连接。

9.根据权利要求7所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，定位肋板(2)的数量为三个，三个定位肋板(2)均匀分布在环形定位板(6)的上表面。

10.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，旋转机构(16)的动力输出轴与坩埚(7)的下端面采用定位法兰盘(13)固定连接。