[实用新型]一种硅片清洗设备有效
| 申请号： | 201920582714.6 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN209691736U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 石坚;朱棣;李杰;于友;刘世伟 | 申请（专利权）人： | 山东九思新材料科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;B08B3/02;B08B1/04 |
| 代理公司： | 37249 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 钟文强<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 273213 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体是一种硅片清洗设备，包括机架和物料盘，所述机架上设置有冲洗腔和下料腔，所述冲洗腔的顶部安装有清洁架，所述清洁架上倾斜安装有喷淋头，所述喷淋头外接进水管，所述清洁架的底部架设有清洁网板，所述清洁网板通过活动轴安装在机架上，所述物料盘内设置有若干道放置槽，所述物料盘架设在清洁网板上，所述下料腔与冲洗腔之间通过清洁网板相分隔，所述下料腔侧边竖向架设有传动螺杆，所述传动螺杆上套设有传动套，所述清洁网板的侧边安装有衔接座，所述传动套与衔接座之间通过拉杆相连接。本申请作业方便，便于周转，能够有效与整个硅片工艺流程相对接。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁网板 冲洗腔 清洁架 物料盘 下料腔 架设 传动螺杆 传动套 喷淋头 衔接座 硅片清洗设备 本实用新型 外接进水管 侧边安装 顶部安装 硅片加工 倾斜安装 工艺流程 放置槽 活动轴 硅片 侧边 拉杆 上套 竖向 分隔 周转 申请 | ||
【主权项】：
1.一种硅片清洗设备，包括机架(1)和物料盘(22)，所述机架(1)上设置有冲洗腔(2)和下料腔(4)，所述冲洗腔(2)的顶部安装有清洁架(3)，所述清洁架(3)上倾斜安装有喷淋头(32)，所述喷淋头(32)外接进水管(31)，所述清洁架(3)的底部架设有清洁网板(21)，其特征在于，所述清洁网板(21)通过活动轴(25)安装在机架(1)上，所述物料盘(22)内设置有若干道放置槽(26)，所述放置槽(26)的底板为镂空网结构，所述物料盘(22)架设在清洁网板(21)上，所述下料腔(4)位于有冲洗腔(2)的正下方，所述下料腔(4)与冲洗腔(2)之间通过清洁网板(21)相分隔，所述下料腔(4)侧边竖向架设有传动螺杆(41)，所述传动螺杆(41)上套设有传动套(42)，所述清洁网板(21)的侧边安装有衔接座(44)，所述传动套(42)与衔接座(44)之间通过拉杆(43)相连接，所述机架(1)的底部架设有传动电机(47)，所述传动螺杆(41)安装在传动电机(47)的驱动端。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
