[实用新型]一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备

摘要

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备。包括扩散炉、源气罐、真空泵和尾气处理装置，扩散炉包括顶部设置炉门的立式炉体和设置于立式炉体的加热器、石英舟以及升降组件；升降组件包括电机和与电机的输出轴连接、且设有外螺纹的驱动轴，石英舟包括环形的底座以及设置于底座的筒架，底座内环设有内螺纹并与驱动轴螺纹连接、外环通过凸起体滑动设置于立式炉体内壁轴向开设的滑槽；筒架的内环和外环均设有用于承载硅片的承载座；筒架、底座以及承载座均空心、并相互连通，底座设有可供源气罐的输气管插入的进气口，承载座底面设有出气孔。该设备具有低压、均匀、高效的扩散效果。

主权项

1.一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备，包括扩散炉（1）、与扩散炉（1）连接的源气罐（2）、真空泵（3）以及尾气处理装置（4），其特征在于：所述扩散炉（1）包括顶部设置炉门（11）的立式炉体（10）和设置于立式炉体（10）的加热器（12）、石英舟（13）以及用于运输石英舟（13）的升降组件；所述升降组件包括电机（21）和设置于立式炉体（10）中心、与所述电机（21）的输出轴连接、且设有外螺纹的驱动轴（22），所述石英舟（13）包括环形的底座（31）以及设置于底座（31）的筒架（32），所述底座（31）内环设有内螺纹并与所述驱动轴（22）螺纹连接、外环通过凸起体滑动设置于所述立式炉体（10）内壁轴向开设的滑槽；所述筒架（32）的内环和外环均设有用于承载硅片的承载座（33）；所述筒架（32）、底座（31）以及承载座（33）均空心、并相互连通，所述底座（31）设有可供所述源气罐（2）的输气管插入的进气口，所述承载座（33）底面设有出气孔。