[实用新型]一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备

说明书

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备。包括扩散炉、源气罐、真空泵和尾气处理装置，扩散炉包括顶部设置炉门的立式炉体和设置于立式炉体的加热器、石英舟以及升降组件；升降组件包括电机和与电机的输出轴连接、且设有外螺纹的驱动轴，石英舟包括环形的底座以及设置于底座的筒架，底座内环设有内螺纹并与驱动轴螺纹连接、外环通过凸起体滑动设置于立式炉体内壁轴向开设的滑槽；筒架的内环和外环均设有用于承载硅片的承载座；筒架、底座以及承载座均空心、并相互连通，底座设有可供源气罐的输气管插入的进气口，承载座底面设有出气孔。该设备具有低压、均匀、高效的扩散效果。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备。

背景技术

在现阶段能源问题日益严峻，传统能源储量下降和带来的环境问题越来越制约经济的发展，从而导致新能源产业迅猛发展。在这样的大背景下光伏产业作为新能源产业的中坚力量，快速在我国遍地开花。但是，长期以来光伏产业的尖端技术和工艺大部分被国外企业所垄断，况且光伏行业又面临越来越激烈的竞争，这就要求我们国内企业必须搞自主研发，提升国内光伏企业的竞争力。

在各种太阳能电池中，硅太阳能电池因其可靠性高、寿命长、能承受各种环境变化等优点成为太阳能电池的主要品种。太阳电池产业化所面临的主要问题之一是如何在保证电池高转换效率前提下降低生产成本。薄层多晶硅电池片既能增大电池有效受光面积且不至于显著增大电阻损失影响填充因子，又能降低单片电池银浆耗量，从而使得转换效率提升和生产成本降低，提升企业的市场竞争力。通过薄层多晶硅电池片的实施，可推进我国光伏技术的发展和进步，提高光电转换效率，降低太阳电池的生产成本，解决因日益严重的能源匮乏而制约我国经济发展的矛盾。

而真空扩散工艺能够通过低压环境使分子自由程增长，增强穿透力，从而提升掺杂均匀性，减少紊流，提高气氛均匀性，快速排空，减少表面复合、降低掺杂源耗，从而制备得到薄层多晶硅电池片，因此需要一种能够进行低压扩散的设备。

实用新型内容

本实用新型要解决上述问题，提供一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备。

本实用新型解决问题的技术方案是，提供一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备，包括扩散炉、与扩散炉连接的源气罐、真空泵以及尾气处理装置，所述扩散炉包括顶部设置炉门的立式炉体和设置于立式炉体的加热器、石英舟以及用于运输石英舟的升降组件；所述升降组件包括电机和设置于立式炉体中心、与所述电机的输出轴连接、且设有外螺纹的驱动轴，所述石英舟包括环形的底座以及设置于底座的筒架，所述底座内环设有内螺纹并与所述驱动轴螺纹连接、外环通过凸起体滑动设置于所述立式炉体内壁轴向开设的滑槽；所述筒架的内环和外环均设有用于承载硅片的承载座；所述筒架、底座以及承载座均空心、并相互连通，所述底座设有可供所述源气罐的输气管插入的进气口，所述承载座底面设有出气孔。

优选地，所述加热器包括若干加热块，所述加热块的设置密度由立式炉体的顶部到底部递减。

优选地，所述筒架的顶部设有与所述底座形状大小一致的稳固座，所述稳固座的顶部设有把手。

优选地，所述稳固座内部空心并与所述筒架连通，所述稳固座靠近所述筒架的一面设有若干循环气孔。

优选地，所述立式炉体的侧壳和底壳均包括外壳体和内壳体，且外壳体和内壳体之间形成冷却水腔，所述冷却水腔的上部设有出水口、下部设有进水口。

优选地，所述驱动轴内部空心，所述驱动轴位于冷却水腔的部分设有若干输水孔。

优选地，所述炉门包括外封闭门和内封闭门，且所述外封闭门和内封闭门之间空心；所述内封闭门设有与所述冷却水腔连通的输水口。

优选地，所述立式炉体侧壳的顶部凸出形成插入部，所述插入部设有外螺纹，所述输水口侧壁设有与所述外螺纹配合连接的内螺纹。