[实用新型]一种衬底片切割装置有效
| 申请号： | 201920525406.X | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209831729U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 曲迪;闫青芝;陈墨;白国人;宋学颖;靳春艳 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B26D1/06 | 分类号： | B26D1/06;B26D7/01;B26D7/26 |
| 代理公司： | 12101 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许爱文 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种衬底片切割装置，涉及半导体制备设备技术领域，包括方形的载物台及切割刀；所述载物台上设有对称固定在衬底片切割线两侧的一对固定伸缩装置；所述固定伸缩装置卡合在衬底片的两侧；所述切割刀沿衬底片切割线方向设置；所述载物台上设有角度可调的切割臂，所述切割刀连接在所述切割臂上；切割刀的刀尖正对衬底片切割线的一端；还包括设在切割刀对向的定位尖角；所述定位尖角中心线正压在切割线的另一端。还包括设在衬底片被切割一侧的挡板；所述挡板与所述固定伸缩装置平行，挡板设在衬底片正上方。该衬底片切割装置结构简单合理，可以有效的减少碎屑的产生；而且方便规定任意大小的衬底片。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底片 切割刀 固定伸缩装置 挡板 切割线 定位尖 切割臂 半导体制备设备 切割装置结构 本实用新型 切割线方向 刀尖 对称固定 角度可调 切割装置 载物台 对向 卡合 碎屑 正对 正压 平行 切割 | ||
【主权项】：
1.一种衬底片切割装置，包括方形的载物台及切割刀；其特征在于：所述载物台上设有对称固定在衬底片切割线两侧的一对固定伸缩装置；所述固定伸缩装置卡合在衬底片的两侧；/n所述切割刀沿衬底片切割线方向设置；所述载物台上设有角度可调的切割臂，所述切割刀连接在所述切割臂上；切割刀的刀尖正对衬底片切割线的一端；还包括设在切割刀对向的定位尖角；所述定位尖角中心线正压在切割线的另一端。/n
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