[实用新型]一种衬底片切割装置有效
申请号: | 201920525406.X | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN209831729U | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 曲迪;闫青芝;陈墨;白国人;宋学颖;靳春艳 | 申请(专利权)人: | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
主分类号: | B26D1/06 | 分类号: | B26D1/06;B26D7/01;B26D7/26 |
代理公司: | 12101 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人: | 许爱文 |
地址: | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底片 切割刀 固定伸缩装置 挡板 切割线 定位尖 切割臂 半导体制备设备 切割装置结构 本实用新型 切割线方向 刀尖 对称固定 角度可调 切割装置 载物台 对向 卡合 碎屑 正对 正压 平行 切割 | ||
1.一种衬底片切割装置,包括方形的载物台及切割刀;其特征在于:所述载物台上设有对称固定在衬底片切割线两侧的一对固定伸缩装置;所述固定伸缩装置卡合在衬底片的两侧;
所述切割刀沿衬底片切割线方向设置;所述载物台上设有角度可调的切割臂,所述切割刀连接在所述切割臂上;切割刀的刀尖正对衬底片切割线的一端;还包括设在切割刀对向的定位尖角;所述定位尖角中心线正压在切割线的另一端。
2.如权利要求1所述的衬底片切割装置,其特征在于:所述固定伸缩装置包括沿衬底片径向依次设在载物台上的固定块、伸缩杆和卡块;所述卡块与衬底片的竖向周边卡合。
3.如权利要求2所述的衬底片切割装置,其特征在于:所述固定块固定在所述载物台上;所述伸缩杆包括螺纹连接的内杆和外管;所述外管包括内螺纹,所述内杆包括与外管匹配的外螺纹;内杆的长度大于外管;所述卡块连接在内杆的端部。
4.如权利要求1所述的衬底片切割装置,其特征在于:所述切割刀与衬底片上端面的夹角为α,α>30°。
5.如权利要求1至4任一项所述的衬底片切割装置,其特征在于:还包括设在衬底片被切割一侧的挡板;所述挡板与所述固定伸缩装置平行,挡板设在衬底片正上方。
6.如权利要求5所述的衬底片切割装置,其特征在于:所述挡板包括设在衬底片两侧的竖直连接部和设在两个连接部之间的遮挡部;所述连接部可拆卸的连接在载物台的台面上;所述遮挡部悬空的设在衬底片的上方。
7.如权利要求6所述的衬底片切割装置,其特征在于:所述载物台上设有连接孔;所述连接部与所述连接孔插接。
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