[实用新型]一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具有效
| 申请号： | 201920524111.0 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209980011U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 闫青芝;曲迪;陈墨;白国人;靳春艳 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 12101 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许爱文 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，涉及半导体制备技术领域，该真空基片夹具包括真空载物台；载物台内设有N组真空吸附结构；每个真空吸附结构下端连接有抽真空结构；每组真空吸附结构包括沿载物台厚度方向设置的M个第一真空孔，第一真空孔为通孔；相邻的第一真空孔之间通过设在载物台内部的真空槽相连通；还包括设在载物台上可拆卸的辅助装置；该辅助装置上设有与第一真空孔连通的第二真空孔；基片覆盖在第二真空孔之上；辅助装置上端与基片紧密贴合，辅助装置下端与载物台紧密贴合。该夹具不仅便于调整基片位置、而且能够一机多用，提高夹具利用率、降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 真空孔 载物台 辅助装置 真空吸附结构 夹具 基片夹具 紧密贴合 下端 半导体制备 本实用新型 抽真空结构 尺寸基片 基片位置 可拆卸的 一机多用 真空槽 上端 光刻 通孔 载物 连通 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：该真空基片夹具包括真空载物台；所述载物台内设有N组真空吸附结构，N为自然数且N≧1；每个所述真空吸附结构下端连接有抽真空结构；每组所述真空吸附结构包括沿所述载物台厚度方向设置的M个第一真空孔，M为自然数且M≧1；所述第一真空孔为通孔；相邻的第一真空孔之间通过设在载物台内部的真空槽相连通；/n还包括设在载物台上可拆卸的辅助装置；该辅助装置上设有与第一真空孔连通的第二真空孔；基片覆盖在第二真空孔之上；辅助装置上端与基片贴合，辅助装置下端与载物台贴合。/n
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