[实用新型]一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具

权利要求书

1.一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：该真空基片夹具包括真空载物台；所述载物台内设有N组真空吸附结构，N为自然数且N≧1；每个所述真空吸附结构下端连接有抽真空结构；每组所述真空吸附结构包括沿所述载物台厚度方向设置的M个第一真空孔，M为自然数且M≧1；所述第一真空孔为通孔；相邻的第一真空孔之间通过设在载物台内部的真空槽相连通；

还包括设在载物台上可拆卸的辅助装置；该辅助装置上设有与第一真空孔连通的第二真空孔；基片覆盖在第二真空孔之上；辅助装置上端与基片贴合，辅助装置下端与载物台贴合。

2.如权利要求1所述的适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：所述辅助装置包括设在各个真空吸附结构一侧的竖直转轴和与转轴转动配合的圆形遮片；所述第二真空孔沿厚度方向设在所述遮片上；所述遮片的面积大于基片的面积。

3.如权利要求2所述的适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：每个遮片上设有一个第二真空孔。

4.如权利要求1所述的适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：所有的第一真空孔直径相等。

5.如权利要求2所述的适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：所述遮片的中心设有转孔；所述转孔与所述转轴螺纹连接。

6.如权利要求1至5任一项所述的适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：所述抽真空结构包括真空吸盘和设在真空吸盘根部的真空管；所述真空吸盘与对应的真空吸附结构连通；真空吸盘覆盖对应的真空吸附结构底部；N个真空管与设在末端的一个共同的真空总开关连接。

7.如权利要求6所述的适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：每个真空管上设有一个控制该管工作状态的真空分开关。

8.如权利要求5所述的适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：N>1，和/或，M>1。

9.如权利要求8所述的适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：M＝3；3个所述第一真空孔呈等边三角形分布，所述转轴设在该等边三角形的中心。

10.如权利要求2所述的适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，其特征在于：N组真空吸附结构在载物台上的投影面积大小不等；所述遮片数量为多个且大小也不相等。