[实用新型]检测半导体材料内部缺陷的红外装置

摘要

检测半导体材料内部缺陷的红外装置，包括红外检测装置主体，红外检测装置主体上安装有两根横杆，两横杆的左端通过横板固定连接，横板的顶面开设圆孔，圆孔内设有转杆，转杆与圆孔通过轴承活动连接，转杆的上端固定安装齿轮，横杆的上方设有纵向的底板，底板上等距离纵向放置数个被检样品，底板的左侧面固定安装齿条，齿条与齿轮啮合。本装置的使用，能一次性放置数个被检样品，并通过旋转转杆，使得每个被检样品均能依次被检测，进而能省略多次拿取检测完的样品并放置新样品的步骤，进而减少工作人员多次重复动作所消耗的时间。

主权项

1.检测半导体材料内部缺陷的红外装置，其特征在于：包括红外检测装置主体（1），红外检测装置主体（1）上安装有两根横杆（2），两横杆（2）的左端通过横板（3）固定连接，横板（3）的顶面开设圆孔（4），圆孔（4）内设有转杆（5），转杆（5）与圆孔（4）通过轴承（6）活动连接，转杆（5）的上端固定安装齿轮（7），横杆（2）的上方设有纵向的底板（8），底板（8）上等距离纵向放置数个被检样品，底板（8）的左侧面固定安装齿条（9），齿条（9）与齿轮（7）啮合，底板（8）的右侧面固定安装固定块（10），红外检测装置主体（1）上固定安装开有滑槽的滑轨（11），滑轨（11）为纵向，滑轨（11）上配合设有滑块（12），滑块（12）能在滑轨（11）的滑槽内滑动，滑块（12）的左侧面与固定块（10）的右侧面固定连接。/n