[实用新型]检测半导体材料内部缺陷的红外装置

说明书

检测半导体材料内部缺陷的红外装置，包括红外检测装置主体，红外检测装置主体上安装有两根横杆，两横杆的左端通过横板固定连接，横板的顶面开设圆孔，圆孔内设有转杆，转杆与圆孔通过轴承活动连接，转杆的上端固定安装齿轮，横杆的上方设有纵向的底板，底板上等距离纵向放置数个被检样品，底板的左侧面固定安装齿条，齿条与齿轮啮合。本装置的使用，能一次性放置数个被检样品，并通过旋转转杆，使得每个被检样品均能依次被检测，进而能省略多次拿取检测完的样品并放置新样品的步骤，进而减少工作人员多次重复动作所消耗的时间。

技术领域

本实用新型属于检测装置领域，具体地说是一种检测半导体材料内部缺陷的红外装置。

背景技术

对半导体材料内部缺陷的检测，是半导体工艺质量控制的常规手段，也是衡量和评价半导体质量的重要标准之一。目前，对半导体内部缺陷的检测常常使用红外显微镜去检测，而红外显微镜不仅传感器制备工艺复杂、难度大、成本高，同时具有整机结构复杂和分辨率低的缺点。其中，中国实用新型“ＣＮ２７９１６３９Ｙ（检测半导体材料内部缺陷的红外装置）”在满足检测的基础上，具有组装调试简单，检测效果可直接以图像的形式观察到材料内部的缺陷的优点，但是该装置在使用时，每次只能在检测装置上放置一个被检样品，由于被检样品往往是多个，因此在检测时，需进行多次的拿放动作，因此较为浪费工作人员的时间和体力。

实用新型内容

本实用新型提供一种检测半导体材料内部缺陷的红外装置，用以解决现有技术中的缺陷。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

检测半导体材料内部缺陷的红外装置，包括红外检测装置主体，红外检测装置主体上安装有两根横杆，两横杆的左端通过横板固定连接，横板的顶面开设圆孔，圆孔内设有转杆，转杆与圆孔通过轴承活动连接，转杆的上端固定安装齿轮，横杆的上方设有纵向的底板，底板上等距离纵向放置数个被检样品，底板的左侧面固定安装齿条，齿条与齿轮啮合，底板的右侧面固定安装固定块，红外检测装置主体上固定安装开有滑槽的滑轨，滑轨为纵向，滑轨上配合设有滑块，滑块能在滑轨的滑槽内滑动，滑块的左侧面与固定块的右侧面固定连接。

如上所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，所述的红外检测装置主体包括光学显微镜、红外CCD摄像头、视频电缆、模拟图像监视器、图像采集系统和透射光源共同组成。

如上所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，所述的外检测装置主体上固定安装L型杆，固定块的顶面开设纵向的条形透槽，L型杆的竖向部分插入条形透槽，条形透槽的两侧面内壁对称安装数对弹片，位于同一纵向线的两相邻弹片之间的横向中心线与检测样品的横向中心线为同一横向线上。

如上所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，所述的转杆的下端固定安装旋钮。

如上所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，所述的底板与横杆之间存在一定间隙。

如上所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，所述的透射光源采用卤素灯。

本实用新型的优点是：本装置在使用时，被检样品均等距离的放置在底板上，其中在开始检测时，从底板一端的被检样品开始检测，在检测完该样品后，旋转转杆，转杆的转动带动齿轮转动，齿轮的转动带动齿条的移动，齿条的移动带动底板的移动，底板的移动带动被检完的样品远离检测区且待检的样品靠近检测区，从而进行下一个样品的检测。本装置中，由于滑块在滑轨的滑槽内滑动，因此在滑块在不妨碍底板移动的前提下，能有效的防止底板前端或后端偏沉时发生倾斜，进而保证装置的正常使用。本装置的使用，能一次性放置数个被检样品，并通过旋转转杆，使得每个被检样品均能依次被检测，进而能省略多次拿取检测完的样品并放置新样品的步骤，进而减少工作人员多次重复动作所消耗的时间。

附图说明