[实用新型]一种真空化学气相沉积的加热管路有效
| 申请号： | 201920504785.4 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN209759578U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 江成龙 | 申请（专利权）人： | 玛奇纳米科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;F16L5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种真空化学气相沉积的加热管路，包括第一加热管和与第一加热管光滑连接的第二加热管，所述第二加热管一端设置有喇叭口，所述喇叭口密封连接真空腔室连接管的一端；所述第一加热管和第二加热管分别设置在蒸发室和裂解室中，所述真空腔室连接管另一端连接真空腔室。本实用新型中，在第二加热管一端设置有喇叭口，通过喇叭口包紧真空腔室连接管的一端，能够形成有效密封连接。 | ||
| 搜索关键词： | 加热管 真空腔室 喇叭口 连接管 一端设置 本实用新型 光滑连接 加热管路 密封连接 气相沉积 一端连接 有效密封 真空化学 裂解室 蒸发室 | ||
【主权项】：
1.一种真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于，包括第一加热管（410）和与第一加热管（410）光滑连接的第二加热管（420），所述第二加热管（420）一端设置有喇叭口（430），所述喇叭口（430）密封连接真空腔室连接管（500）的一端；所述第一加热管（410）和第二加热管（420）分别设置在蒸发室（100）和裂解室（200）中，所述真空腔室连接管（500）另一端连接真空腔室（300）。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
