[实用新型]一种真空化学气相沉积的加热管路

权利要求书

1.一种真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于，包括第一加热管（410）和与第一加热管（410）光滑连接的第二加热管（420），所述第二加热管（420）一端设置有喇叭口（430），所述喇叭口（430）密封连接真空腔室连接管（500）的一端；所述第一加热管（410）和第二加热管（420）分别设置在蒸发室（100）和裂解室（200）中，所述真空腔室连接管（500）另一端连接真空腔室（300）。

2.根据权利要求1所述的真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于：所述第一加热管（410）光滑连接的第二加热管（420）。

3.根据权利要求1所述的真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于：所述第一加热管（410）或第二加热管（420）的一端设置有喇叭口，所述第一加热管（410）和第二加热管（420）通过喇叭口密封连接。

4.根据权利要求1所述的真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于：所述喇叭口（430）中设置有密封垫圈（600），所述密封垫圈（600）紧贴于喇叭口（430）内壁，所述真空腔室连接管（500）的一端抵紧密封垫圈（600）形成密封。

5.根据权利要求4所述的真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于：所述密封垫圈（600）为与喇叭口（430）相匹配的喇叭形结构。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于：所述第一加热管（410）的管径大于第二加热管（420）的管径。

7.根据权利要求6所述的真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于：所述第一加热管（410）和第二加热管（420）为石英玻璃管，所述真空腔室连接管（500）为钢质材料管。

8.根据权利要求6所述的真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于：所述蒸发室（100）的侧壁上设置有卡口（110）用于固定第一加热管（410）。

9.根据权利要求8所述的真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于：所述裂解室（200）的侧壁上设置有卡口（110）用于固定第二加热管（420）。

10.根据权利要求9所述的真空化学气相沉积的加热管路，其特征在于：所述卡口（110）为“U”形结构。