[实用新型]一种真空化学气相沉积的加热管路

说明书

一种真空化学气相沉积的加热管路，包括第一加热管和与第一加热管光滑连接的第二加热管，所述第二加热管一端设置有喇叭口，所述喇叭口密封连接真空腔室连接管的一端；所述第一加热管和第二加热管分别设置在蒸发室和裂解室中，所述真空腔室连接管另一端连接真空腔室。本实用新型中，在第二加热管一端设置有喇叭口，通过喇叭口包紧真空腔室连接管的一端，能够形成有效密封连接。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别涉及一种真空化学气相沉积的加热管路。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

中国专利 CN201320357162.1公开了一种精细纳米真空镀膜设备故障纳米高分子抽离保护装置，包括沉积室、冷凝器、真空泵、中央控制器、汽化室、裂解室、装料室，装料室通过管路连接汽化室，汽化室通过管路连接裂解室，汽化室与裂解室之间的管路上设有一控制阀；裂解室通过管路连接真空泵，裂解室与真空泵之间的管路上设有一控制阀；裂解室还通过管路连接沉积室，沉积室通过管路连接冷凝器，冷凝器通过管路连接真空泵。本实用新型防止了因设备故障造成真空压力快速回升，导致被镀物产生白雾现象的功能，防止了被镀物报废的问题。该专利中多处提到管路连接，但是如何实现管路连接中的密封并保证管路连接的高效密封不泄露，该专利以及现有技术均为提出解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空化学气相沉积的加热管路，管路密封效果好，保证高真空不泄露。

为实现上述技术目的，本实用新型实施例的技术方案具体如下。

一种真空化学气相沉积的加热管路，包括第一加热管和与第一加热管光滑连接的第二加热管，所述第二加热管一端设置有喇叭口，所述喇叭口密封连接真空腔室连接管的一端；所述第一加热管和第二加热管分别设置在蒸发室和裂解室中，所述真空腔室连接管另一端连接真空腔室。

进一步地，所述第一加热管光滑连接的第二加热管。

进一步地，所述第一加热管或第二加热管的一端设置有喇叭口，所述第一加热管和第二加热管通过喇叭口密封连接。

进一步地，所述喇叭口中设置有密封垫圈，所述密封垫圈紧贴于喇叭口内壁，所述真空腔室连接管的一端抵紧密封垫圈形成密封。

进一步地，所述密封垫圈为与喇叭口相匹配的喇叭形结构。

进一步地，所述第一加热管的管径大于第二加热管的管径。

进一步地，所述第一加热管和第二加热管为石英玻璃管，所述真空腔室连接管为钢质材料管。

进一步地，所述蒸发室的侧壁上设置有卡口用于固定第一加热管。

进一步地，所述裂解室的侧壁上设置有卡口用于固定第二加热管。

进一步地，所述卡口为“U”形结构。

与现有技术相比，本实用新型实施例的优点在于：

一种真空化学气相沉积的加热管路，包括第一加热管和与第一加热管光滑连接的第二加热管，所述第二加热管一端设置有喇叭口，所述喇叭口密封连接真空腔室连接管的一端；所述第一加热管和第二加热管分别设置在蒸发室和裂解室中，所述真空腔室连接管另一端连接真空腔室。本实施例中，在第二加热管一端设置有喇叭口，通过喇叭口包紧真空腔室连接管的一端，能够形成有效密封连接。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。