[实用新型]射频线圈用校准系统、工艺腔室和半导体处理设备

摘要

本实用新型公开了一种射频线圈用校准系统、工艺腔室和半导体处理设备。校准系统包括控制器、至少一组距离检测单元以及至少一个驱动机构；每组距离检测单元均设置在射频线圈上，以检测射频线圈与介质筒外周壁之间的实际距离并将其发送至控制器；每个驱动机构均直接或间接地与射频线圈连接；控制器分别与各组距离检测单元以及各驱动机构的控制端电连接，控制器能够根据接收到的各实际距离控制对应的驱动机构驱动射频线圈移动，以使得射频线圈与介质筒同轴。可以自动将射频线圈校准至与介质筒同轴，并且，可以满足较高的同轴度要求，从而可以提高射频线圈的校准效率，降低制作成本。

主权项

1.一种射频线圈用校准系统，用于将射频线圈校准至与介质筒同轴，其特征在于，所述校准系统包括控制器、至少一组距离检测单元以及至少一个驱动机构；其中，每组所述距离检测单元均设置在所述射频线圈上，以检测所述射频线圈与所述介质筒外周壁之间的实际距离并将其发送至所述控制器；每个所述驱动机构均直接或间接地与所述射频线圈连接；所述控制器分别与各组所述距离检测单元以及各所述驱动机构的控制端电连接，所述控制器能够根据接收到的各所述实际距离控制对应的所述驱动机构驱动所述射频线圈移动，以使得所述射频线圈与所述介质筒同轴。