[实用新型]一种自动切换式修正机构

摘要

本实用新型涉及高真空蒸发镀膜设备领域，公开了一种自动切换式修正机构，安装在镀膜设备的真空腔体上，其包括支杆、修正板和旋转马达；支杆一端穿过伸出真空腔体，支杆的另一端可转动的设置在真空腔体上；修正板固定安装在支杆上，修正板包括呈十字型交叉设置的第一修板和第二修板；当第一修板与公转镀锅平行相对，修正板处于第一修正状态；当第二修板与公转镀锅平行相对，修正板处于第二修正状态；伸出端与旋转马达连接；旋转马达每转动一次，则控制支杆绕自身轴线转动90度，从而控制修正板切换到第一修正状态或第二修正状态。通过上述方式，本实用新型能够满足蒸发特性相反的金属、在同一批次蒸发镀膜时、自动切换到对应形状的修板。

主权项

1.一种自动切换式修正机构，安装在镀膜设备的真空腔体上，其特征在于，自动切换式修正机构包括：支杆、修正板和旋转马达；所述支杆可转动的设置在所述真空腔体的内部，所述支杆位于公转镀锅与蒸发源之间，所述支杆平行于所述公转镀锅；所述支杆的一端穿过伸出所述真空腔体、为伸出端，所述支杆的另一端可转动的设置在所述真空腔体上、为固定端；所述修正板有两个，两个修正板均固定安装在所述支杆上，两个修正板关于所述公转镀锅的轴线对称；所述修正板包括呈十字型交叉设置的第一修板和第二修板，所述第一修板和所述第二修板均呈柳叶形，所述第一修板上面积较大的一端靠近公转镀锅轴线、面积较小的一端靠近真空腔体内侧壁，所述第二修板上面积较大的一端靠近真空腔体内侧壁、面积较小的一端靠近公转镀锅轴线；当第一修板与公转镀锅平行相对时，第二修板则垂直于公转镀锅，此时的修正板对应处于第一修正状态；当第二修板与公转镀锅平行相对时，第一修板则垂直于公转镀锅，此时的修正板对应处于第二修正状态；所述伸出端与旋转马达连接；旋转马达每转动一次，则控制支杆绕自身轴线转动90度，从而控制修正板由原先的第一修正状态切换到第二修正状态、或由原先的第二修正状态切换到第一修正状态。/n