[实用新型]一种自动切换式修正机构

说明书

本实用新型涉及高真空蒸发镀膜设备领域，公开了一种自动切换式修正机构，安装在镀膜设备的真空腔体上，其包括支杆、修正板和旋转马达；支杆一端穿过伸出真空腔体，支杆的另一端可转动的设置在真空腔体上；修正板固定安装在支杆上，修正板包括呈十字型交叉设置的第一修板和第二修板；当第一修板与公转镀锅平行相对，修正板处于第一修正状态；当第二修板与公转镀锅平行相对，修正板处于第二修正状态；伸出端与旋转马达连接；旋转马达每转动一次，则控制支杆绕自身轴线转动90度，从而控制修正板切换到第一修正状态或第二修正状态。通过上述方式，本实用新型能够满足蒸发特性相反的金属、在同一批次蒸发镀膜时、自动切换到对应形状的修板。

技术领域

本实用新型涉及高真空蒸发镀膜设备领域，特别是涉及一种自动切换式修正机构。

背景技术

在高真空蒸发镀膜设备领域，对于镀膜均匀性要求高的工艺，通常采用公转镀锅的方式进行蒸发镀膜。公转方式蒸发镀膜，由于蒸发源通常设置在镀锅中心正下方的腔体底面上，所以在蒸发镀膜时，靠近镀锅中心部位的膜比较厚，靠近镀锅边缘部分的膜比较薄，因此通常在镀锅的下部安装修正板来解决该膜厚均匀性的问题。

现有的修正板是采用固定式柳叶型的修正板。具体为：在镀锅的下部安装一个固定的横杆，修正板直接通过螺丝固定在横杆上。当金属蒸发时，由于修正板的遮挡，镀锅中心部位基片蒸发到的金属相对减少，从而可使镀锅中心部位基片的蒸发膜厚度与镀锅边缘基片蒸发膜厚度近似相等，实现较高的均匀性，提高镀膜产品的品质。

现有的修正板虽然能够起到修正模厚均匀性的作用，但是当同一批次蒸发镀膜需要先后蒸发几种不同的金属时，特别是当金属的蒸发分布特性相反时，由于固定式的修正板无法移动，基片镀膜的高均匀性就无法实现，从而会影响产品的品质和优良率。因为不同的金属进行先后蒸发镀膜时，会出现这样的现象：一种金属的蒸发特性是靠近镀锅中心的部位膜厚比较厚，其所需修正板的形状就是靠近镀锅中心部位的面积较大、靠近镀锅边缘部位的面积较小，这样才可以把镀锅中心部分蒸发膜厚的地方进行遮挡，使蒸发到的金属减少、膜厚变薄，达到与边缘部分近似相等；另一种金属的蒸发特性与前一种金属正好相反，是靠近镀锅边缘的部位膜厚比较厚，那么这种金属所需修正板的形状就是靠近镀锅中心部位的遮挡面积要小、靠近镀锅边缘部位的遮挡面积要大；也就是说两种金属所需的修正板形状截然不同。但由于蒸发镀膜需要一批次镀完这蒸发特性相反的金属(如果在镀完一层膜，把镀膜需要的高真空破坏掉，手动更换修正板后，再次抽真空镀膜的话，均匀性可以满足，但是由于中途进行了真空破坏，金属间的结合力受到影响，从而影响产品的品质)，现有的修正板又是固定式的，中途不能进行相应的更换，所以现有的修正机构无法得到高均匀性分布的多层膜，进而会影响到产品的品质与优良率。

因此，需要设计一种能够解决上述技术问题的修正机构。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种自动切换式修正机构，能够满足蒸发特性相反的金属、在同一批次蒸发镀膜时、自动切换到对应形状的修板。