[实用新型]一种自动切换式修正机构

权利要求书

1.一种自动切换式修正机构，安装在镀膜设备的真空腔体上，其特征在于，自动切换式修正机构包括：支杆、修正板和旋转马达；所述支杆可转动的设置在所述真空腔体的内部，所述支杆位于公转镀锅与蒸发源之间，所述支杆平行于所述公转镀锅；所述支杆的一端穿过伸出所述真空腔体、为伸出端，所述支杆的另一端可转动的设置在所述真空腔体上、为固定端；所述修正板有两个，两个修正板均固定安装在所述支杆上，两个修正板关于所述公转镀锅的轴线对称；所述修正板包括呈十字型交叉设置的第一修板和第二修板，所述第一修板和所述第二修板均呈柳叶形，所述第一修板上面积较大的一端靠近公转镀锅轴线、面积较小的一端靠近真空腔体内侧壁，所述第二修板上面积较大的一端靠近真空腔体内侧壁、面积较小的一端靠近公转镀锅轴线；当第一修板与公转镀锅平行相对时，第二修板则垂直于公转镀锅，此时的修正板对应处于第一修正状态；当第二修板与公转镀锅平行相对时，第一修板则垂直于公转镀锅，此时的修正板对应处于第二修正状态；所述伸出端与旋转马达连接；旋转马达每转动一次，则控制支杆绕自身轴线转动90度，从而控制修正板由原先的第一修正状态切换到第二修正状态、或由原先的第二修正状态切换到第一修正状态。

2.根据权利要求1所述的一种自动切换式修正机构，其特征在于：所述伸出端通过磁流体与所述旋转马达连接，所述磁流体固定安装在所述真空腔体的外侧壁上，所述磁流体的真空侧朝向所述真空腔体。

3.根据权利要求2所述的一种自动切换式修正机构，其特征在于：所述旋转马达的输出轴采用联轴器与所述磁流体连接，旋转马达转动通过联轴器、磁流体控制支杆绕自身轴线转动。

4.根据权利要求1所述的一种自动切换式修正机构，其特征在于：所述支杆的固定端通过支撑座固定设置在所述真空腔体的内侧壁上，即所述固定端与所述支撑座为可转动连接，所述支撑座与所述真空腔体的内侧壁为固定连接。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种自动切换式修正机构，其特征在于：所述旋转马达固定安装在所述真空腔体的外侧壁上。