[实用新型]清洁装置有效
| 申请号： | 201920414811.4 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN209935363U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 潘东林;高英哲;张文福;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种清洁装置，清洁装置包括：第一清洁设备及第二清洁设备，第一清洁设备包括第一箱体及与第一箱体相连接的驱动部件；第一箱体包括顶部开口，第一箱体的侧壁上设置有至少一个溶液喷头及至少一个气体喷头；驱动部件包括至少两个移动单元，通过移动单元控制第一箱体的位移；第二清洁设备包括第二箱体，第二箱体的顶部上设置有至少一个溶液喷头及至少一个气体喷头，第二箱体的侧壁具有侧壁开口；通过第一清洁设备清洁自顶部开口进入的第一待清洁部件，通过第二清洁设备清洁自侧壁开口进入的第二待清洁部件；可对不同类型的待清洁部件进行清洁，减少对晶圆的污染，提高晶圆的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁设备 待清洁部件 侧壁开口 顶部开口 气体喷头 清洁装置 驱动部件 溶液喷头 侧壁 晶圆 清洁 移动单元控制 本实用新型 移动单元 良率 污染 | ||
【主权项】：
1.一种清洁装置，其特征在于，所述清洁装置包括：/n第一清洁设备，所述第一清洁设备包括第一箱体及与所述第一箱体相连接的驱动部件；/n所述第一箱体包括顶部开口，所述第一箱体的侧壁上设置有至少一个溶液喷头及至少一个气体喷头；所述驱动部件包括至少两个移动单元，通过所述移动单元控制所述第一箱体的位移；通过所述第一清洁设备清洁自所述顶部开口进入的第一待清洁部件；/n第二清洁设备，所述第二清洁设备包括第二箱体，所述第二箱体的顶部上设置有至少一个溶液喷头及至少一个气体喷头，所述第二箱体的侧壁具有侧壁开口；通过所述第二清洁设备清洁自所述侧壁开口进入的第二待清洁部件。/n
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