[实用新型]探针卡清洗装置有效
| 申请号： | 201920402741.0 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN209969058U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 肖佳明;王永耀 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种探针卡清洗装置。所述探针卡清洗装置包括：清洗槽，用于容纳清洗液，且所述清洗槽的底部具有排液口；支架，固定于所述清洗槽内，用于支撑所述探针卡；至少一超声波换能器，与所述清洗槽连接，用于驱动所述清洗槽中的清洗液在超声波频率下振动；至少一第一喷口，位于所述清洗槽内，用于向位于所述清洗槽内的探针卡喷射气体，以去除残留于所述探针卡表面的清洗液。本实用新型在实现对探针卡高效清洁的同时，避免了对探针卡中探针表面的损伤，提高了探针卡的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 探针卡 清洗槽 清洗液 本实用新型 清洗装置 半导体制造技术 超声波换能器 超声波频率 喷射气体 使用寿命 排液口 中探针 喷口 支架 去除 损伤 残留 容纳 驱动 清洁 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡清洗装置，其特征在于，包括：/n清洗槽，用于容纳清洗液，且所述清洗槽的底部具有排液口；/n支架，固定于所述清洗槽内，用于支撑所述探针卡；/n至少一超声波换能器，与所述清洗槽连接，用于驱动所述清洗槽中的清洗液在超声波频率下振动；/n至少一第一喷口，位于所述清洗槽内，用于向位于所述清洗槽内的探针卡喷射气体，以去除残留于所述探针卡表面的清洗液。/n
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