[实用新型]探针卡清洗装置有效
| 申请号： | 201920402741.0 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN209969058U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 肖佳明;王永耀 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针卡 清洗槽 清洗液 本实用新型 清洗装置 半导体制造技术 超声波换能器 超声波频率 喷射气体 使用寿命 排液口 中探针 喷口 支架 去除 损伤 残留 容纳 驱动 清洁 支撑 | ||
1.一种探针卡清洗装置，其特征在于，包括：
清洗槽，用于容纳清洗液，且所述清洗槽的底部具有排液口；
支架，固定于所述清洗槽内，用于支撑所述探针卡；
至少一超声波换能器，与所述清洗槽连接，用于驱动所述清洗槽中的清洗液在超声波频率下振动；
至少一第一喷口，位于所述清洗槽内，用于向位于所述清洗槽内的探针卡喷射气体，以去除残留于所述探针卡表面的清洗液。
2.根据权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述支架包括环状支撑板以及位于所述环状支撑板表面的多个卡销；所述环状支撑板固定于所述清洗槽的内壁表面，且所述环状支撑板的中心与所述清洗槽的中心在竖直方向上的投影重合，用于支撑所述探针卡的边缘。
3.根据权利要求2所述的探针卡清洗装置，其特征在于，多个所述卡销关于所述环状支撑板的中心对称分布。
4.根据权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述超声波换能器的数量为多个；多个所述超声波换能器设置于所述清洗槽的外侧，且与所述清洗槽的底部连接。
5.根据权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述第一喷口的数量为多个，且多个所述第一喷口环绕所述清洗槽的内壁对称设置。
6.根据权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述气体为氮气。
7.根据权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于，还包括位于所述清洗槽内的第二喷口；所述第二喷口设置于所述支架上方，用于向所述清洗槽内喷射所述清洗液。
8.根据权利要求7所述的探针卡清洗装置，其特征在于，还包括位于所述清洗槽外部的传输管道以及设置于所述传输管道中的控制阀；所述传输管道的一端与所述第二喷口连通、另一端与用于存储清洗液的储液罐连通；所述控制阀用于控制所述第二喷口与所述储液罐是否连通。
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