[实用新型]一种真空镀膜机的供电系统有效
| 申请号： | 201920380537.3 | 申请日： | 2019-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN209798074U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 董旺鹏 | 申请（专利权）人： | 厦门正顺兴钛金科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机的技术领域，涉及一种真空镀膜机的供电系统，其包括设置在镀膜室上的供电件，以及与靶源连接的供电线，且所述供电线与所述供电件连接；还包括设置在镀膜室上的连接块，所述连接块上设置有调节机构，所述连接块上开设有第一滑槽；所述调节机构包括滑移连接在所述第一滑槽内的滑块，所述滑块上设置有推杆，所述推杆的横截面积呈L形；所述连接块上设置有与所述滑块连接的固定组件。本实用新型设置的调节机构能够使供电线在镀膜室的外侧壁上绷紧，减少人工操作，从而提高效率。三相可调交流电源电源电压可调，频率可调，从而改变等离子的形成远近，使镀层更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜室 供电线 滑块 推杆 本实用新型 真空镀膜机 供电件 滑槽 供电系统 可调交流电源 电源电压 固定组件 滑移连接 频率可调 人工操作 等离子 外侧壁 靶源 绷紧 镀层 可调 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机的供电系统，包括设置在镀膜室上的供电件(11)，以及与靶源连接的供电线(12)，且所述供电线(12)与所述供电件(11)连接；其特征在于，还包括设置在镀膜室上的连接块(2)，所述连接块(2)上设置有调节机构(3)，所述连接块(2)上开设有第一滑槽(21)；所述调节机构(3)包括滑移连接在所述第一滑槽(21)内的滑块(31)，所述滑块(31)上设置有推杆(32)，所述推杆(32)的横截面积呈L形；所述连接块(2)上设置有与所述滑块(31)连接的固定组件(4)。/n
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