[实用新型]一种真空镀膜机的供电系统

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机的技术领域，涉及一种真空镀膜机的供电系统，其包括设置在镀膜室上的供电件，以及与靶源连接的供电线，且所述供电线与所述供电件连接；还包括设置在镀膜室上的连接块，所述连接块上设置有调节机构，所述连接块上开设有第一滑槽；所述调节机构包括滑移连接在所述第一滑槽内的滑块，所述滑块上设置有推杆，所述推杆的横截面积呈L形；所述连接块上设置有与所述滑块连接的固定组件。本实用新型设置的调节机构能够使供电线在镀膜室的外侧壁上绷紧，减少人工操作，从而提高效率。三相可调交流电源电源电压可调，频率可调，从而改变等离子的形成远近，使镀层更均匀。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机的技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜机的供电系统。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中频磁控溅射镀膜机、多功能中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学（电子束蒸发）镀膜机等系列真空镀膜设备。

目前，授权公告号为CN201217685U的中国实用新型公开了一种磁控溅射与多弧离子镀复合式真空镀膜机，包括真空镀膜室、真空系统、电源系统、气动系统、供气系统、冷却系统、驱动系统、控制与测试系统和警报系统，真空镀膜室体壁上安装磁控溅射镍靶和电弧镀铬靶两种靶源，两种靶源与靶电源通过电线连接。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：因为靶源是多个，所以真空镀膜室与电源之间会连接多条供电线，这些供电线会搭在真空镀膜室的外壁上，并将下方的靶源覆盖，当其中一条供电线损坏进行更换的时候，需要人工将其他的供电线拨开，减少阻挡从而方便更换供电线；但是人工更换损坏的供电线的时候，需要一直拨着其它供电线，使更换供电线的时间变长，从而降低了效率。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的供电系统，设置的调节机构能够使供电线在镀膜室的外侧壁上绷紧，减少人工操作，从而提高效率。

本实用新型的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种真空镀膜机的供电系统，包括设置在镀膜室上的供电件，以及与靶源连接的供电线，且所述供电线与所述供电件连接；还包括设置在镀膜室上的连接块，所述连接块上设置有调节机构，所述连接块上开设有第一滑槽；所述调节机构包括滑移连接在所述第一滑槽内的滑块，所述滑块上设置有推杆，所述推杆的横截面积呈L形；所述连接块上设置有与所述滑块连接的固定组件。

通过采用上述技术方案，供电线的一端与供电件连接，且另外一端与靶源连接，然后使滑块在第一滑槽内滑移，使推杆带动供电线运动，然后使用固定组件将滑块的位置固定在连接块上，使供电线在镀膜机上绷紧，防止供电线搭落；设置的调节机构能够使供电线在镀膜室的外侧壁上绷紧，减少人工操作，从而提高效率。

本实用新型进一步设置为：所述固定组件包括固定连接在所述连接块上的固定块，所述固定块上开设有卡槽；所述滑块上开设有第二滑槽，所述第二滑槽内滑移连接有与所述卡槽卡接的卡块。

通过采用上述技术方案，使卡块在第二滑槽内朝靠近固定块的方向滑移，卡块就会与固定块上的卡槽卡接，从而使滑块固定在第一滑槽内；设置的固定组件结构简单便于操作，从而提高了效率。

本实用新型进一步设置为：所述卡块上设置有挡杆，所述滑块上开设有与所述挡杆卡接的凹槽，所述凹槽与所述第二滑槽连通。

通过采用上述技术方案，设置的挡杆便于卡块在第二滑槽内移动，当卡块与卡槽卡接的时候，使挡杆与凹槽卡接，实现挡杆的定位；设置的挡杆使卡块与卡槽卡接的时候便于操作。

本实用新型进一步设置为：所述卡块上设置有弹簧，所述弹簧远离所述卡块的一端设置在所述第二滑槽的侧壁上。