[实用新型]一种真空镀膜机的供电系统

权利要求书

1.一种真空镀膜机的供电系统，包括设置在镀膜室上的供电件(11)，以及与靶源连接的供电线(12)，且所述供电线(12)与所述供电件(11)连接；其特征在于，还包括设置在镀膜室上的连接块(2)，所述连接块(2)上设置有调节机构(3)，所述连接块(2)上开设有第一滑槽(21)；所述调节机构(3)包括滑移连接在所述第一滑槽(21)内的滑块(31)，所述滑块(31)上设置有推杆(32)，所述推杆(32)的横截面积呈L形；所述连接块(2)上设置有与所述滑块(31)连接的固定组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的供电系统，其特征在于，所述固定组件(4)包括固定连接在所述连接块(2)上的固定块(41)，所述固定块(41)上开设有卡槽；所述滑块(31)上开设有第二滑槽(311)，所述第二滑槽(311)内滑移连接有与所述卡槽卡接的卡块(42)。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的供电系统，其特征在于，所述卡块(42)上设置有挡杆(43)，所述滑块(31)上开设有与所述挡杆(43)卡接的凹槽(312)，所述凹槽(312)与所述第二滑槽(311)连通。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的供电系统，其特征在于，所述卡块(42)上设置有弹簧(44)，所述弹簧(44)远离所述卡块(42)的一端设置在所述第二滑槽(311)的侧壁上。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的供电系统，其特征在于，所述连接块(2)上设置有加固机构(5)，所述加固机构(5)包括与铰接在所述连接块(2)上的加固块(51)，所述加固块(51)的横截面积呈圆拱形；所述加固块(51)远离与所述连接块(2)铰接端的一端上设置有加固板(52)，所述加固板(52)上开设有通孔(521)；所述连接块(2)上开设有螺纹孔；所述加固板(52)上设置有螺栓(53)，所述螺栓(53)穿过所述通孔(521)与所述螺纹孔螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的供电系统，其特征在于，所述推杆(32)远离所述滑块(31)的一端上设置有连接杆(33)。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的供电系统，其特征在于，靶源包括设置在镀膜室上的永磁体，所述永磁体上连接有与所述供电线(12)连接的电磁线圈。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的供电系统，其特征在于，所述供电件(11)为三相可调交流电源。