[实用新型]送膜装置

摘要

本实用新型公开了一种送膜装置，包括送膜滑轨、送膜滑动座、送膜滑动驱动组件、原料膜供应组件、分膜组件、底膜收卷组件、以及废膜收卷组件；分膜组件包括分膜框体、送膜张紧辊、以及分膜辊。送膜滑动驱动组件带动送膜滑动座沿送膜滑轨移动使得分膜组件进入贴膜加工腔，分膜组件离开贴膜加工腔的过程中干膜不会相对贴膜加工腔移动，因此干膜在贴膜加工腔内完成与底膜的分离，当送膜滑动座上的分膜组件完全离开贴膜加工腔后，贴膜加工腔内的干膜均完成了与底膜的分离，此时第一压膜台和第二压膜台立即动作将干膜与晶圆贴合，减少了干膜与底膜分离后移动至贴膜加工腔的时间，避免了干膜上胶水的硬化，提升了干膜与晶圆的粘接效果。

主权项

1.送膜装置，其特征在于，包括送膜滑轨、与所述送膜滑轨滑动连接的送膜滑动座、用于驱动所述送膜滑动座滑动的送膜滑动驱动组件、设于所述送膜滑动座且用于供应原料膜的原料膜供应组件、设于所述送膜滑动座且用于分离干膜与底膜的分膜组件、设于送膜滑动座且用于收卷底膜的底膜收卷组件、以及废膜收卷组件；所述分膜组件包括分膜框体、与所述分膜框体转动连接的送膜张紧辊、以及与所述分膜框体转动连接的分膜辊。/n