[实用新型]送膜装置有效
申请号: | 201920343781.2 | 申请日: | 2019-03-18 |
公开(公告)号: | CN210029360U | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 谢军 | 申请(专利权)人: | 广东思沃精密机械有限公司 |
主分类号: | B65H16/00 | 分类号: | B65H16/00;B65H18/08;B65H23/26;B65H23/038;H01L21/67;B29C63/02 |
代理公司: | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加工腔 干膜 贴膜 膜组件 底膜 滑动座 滑动驱动组件 收卷组件 晶圆 压膜 本实用新型 供应组件 滑轨移动 送膜装置 胶水 分膜辊 原料膜 张紧辊 移动 废膜 滑轨 膜框 贴合 粘接 硬化 | ||
1.送膜装置,其特征在于,包括送膜滑轨、与所述送膜滑轨滑动连接的送膜滑动座、用于驱动所述送膜滑动座滑动的送膜滑动驱动组件、设于所述送膜滑动座且用于供应原料膜的原料膜供应组件、设于所述送膜滑动座且用于分离干膜与底膜的分膜组件、设于送膜滑动座且用于收卷底膜的底膜收卷组件、以及废膜收卷组件;所述分膜组件包括分膜框体、与所述分膜框体转动连接的送膜张紧辊、以及与所述分膜框体转动连接的分膜辊。
2.根据权利要求1所述的送膜装置,其特征在于,所述送膜滑动驱动组件包括送膜滑动电机、与所述送膜滑动电机传动连接的送膜滑动丝杠轴、以及与所述送膜滑动丝杠轴相配合的送膜滑动丝杠螺母;所述送膜滑动座与所述送膜滑动丝杠螺母相连。
3.根据权利要求1所述的送膜装置,其特征在于,所述送膜滑动驱动组件包括设于所述送膜滑动座的齿条、与所述齿条相啮合的齿轮、以及用于驱动所述齿轮转动的电机。
4.根据权利要求1所述的送膜装置,其特征在于,所述送膜滑动座上设有滑动块,所述滑动块与所述送膜滑轨滑动连接。
5.根据权利要求4所述的送膜装置,其特征在于,所述送膜滑轨开设有滑动槽,所述滑动块上设有位于所述滑动槽内的滑动凸起。
6.根据权利要求1所述的送膜装置,其特征在于,所述送膜滑轨的端部设有用于阻挡所述送膜滑动座的限位板。
7.根据权利要求1所述的送膜装置,其特征在于,所述分膜框体上设有调节组件;所述调节组件包括与所述分膜框体相连的调节框体、设于所述调节框体的调节导杆、与所述调节导杆滑动连接的调节滑块、设于所述调节滑块的调节导辊、设于所述调节滑块与所述调节导杆之间的调节弹性件、以及与所述调节框体螺纹连接且用于与所述调节滑块相抵接的调节螺钉。
8.根据权利要求1所述的送膜装置,其特征在于,所述原料膜供应组件包括第一气涨轴、以及用于驱动所述第一气涨轴转动的原料膜供应驱动件。
9.根据权利要求1所述的送膜装置,其特征在于,所述底膜收卷组件包括第二气涨轴、以及用于驱动所述第二气涨轴转动的底膜收卷驱动件。
10.根据权利要求1所述的送膜装置,其特征在于,所述废膜收卷组件包括第三气涨轴、以及用于驱动所述第三气涨轴转动的废膜收卷驱动件。
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