[实用新型]用于载舟小车上弹簧压板的自动开合机构有效
申请号: | 201920316366.8 | 申请日: | 2019-03-13 |
公开(公告)号: | CN209496843U | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 顾徐锋;戴秋喜;潘加永 | 申请(专利权)人: | 苏州映真智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市高新区建林*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于载舟小车上弹簧压板的自动开合机构,包括基座,在所述基座上平行设置有两条导轨,在所述两条导轨的外侧分别设置有第一伞齿轮机构、第二伞齿轮机构,在所述基座底部设置有电机,在所述第一伞齿轮机构、第二伞齿轮机构的顶部分别设置有第一推杆、第二推杆;所述电机驱动所述第一伞齿轮机构、第二伞齿轮机构同步运行,带动所述第一推杆、第二推杆同步转动,压紧或松开载舟小车上的压板和弹簧,以打开或合上载舟小车上的弹簧压板机构。该自动开合机构,实现了载舟小车上弹簧压板机构的自动化开合,便于对载舟小车上满载的硅片舟进行固定,同时便于硅片舟的装卸,提高了生产效率,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 伞齿轮机构 小车 推杆 自动开合机构 上弹簧 压板 硅片舟 导轨 弹簧压板机构 本实用新型 电机驱动 平行设置 生产效率 同步运行 同步转动 压板机构 弹簧 开合 松开 压紧 装卸 电机 满载 自动化 | ||
【主权项】:
1.一种用于载舟小车上弹簧压板的自动开合机构,其特征在于,包括基座,在所述基座上平行设置有两条导轨,载舟小车可通过该两条导轨运行至该基座上;在所述两条导轨的外侧分别设置有第一伞齿轮机构、第二伞齿轮机构,在所述基座底部设置有电机,所述第一伞齿轮机构、第二伞齿轮机构连接所述电机,在所述第一伞齿轮机构、第二伞齿轮机构的顶部分别设置有第一推杆、第二推杆;所述电机驱动所述第一伞齿轮机构、第二伞齿轮机构同步运行,从而带动所述第一推杆、第二推杆同步转动,使所述第一推杆、第二推杆压紧或松开载舟小车上的压板和弹簧,以打开或合上载舟小车上的弹簧压板机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造