[实用新型]一种超纯氩纯化装置有效
申请号: | 201920309619.9 | 申请日: | 2019-03-12 |
公开(公告)号: | CN210251544U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 金向华;孙猛 | 申请(专利权)人: | 苏州金宏气体股份有限公司 |
主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;B01D53/04;B01D53/18;C01B23/00 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 陆金星;姚惠菱 |
地址: | 215152 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种超纯氩纯化装置,包括两个原料气供给系统、纯化系统以及两个产品气充装系统,两个原料气供给系统并联连接至纯化系统,每个原料气供给系统包括设于同一集装格中的若干储气瓶,两个产品气充装系统并联连接至纯化系统,其中一个产品充装系统包括若干充气瓶A,另一个产品充装系统包括设于同一集装格中的若干充气瓶B,纯化系统包括凝胶过滤单元和碱性洗涤单元。本实用新型通过设置凝胶过滤单元,可以脱除原料气中的一氧化碳,通过设置碱性洗涤单元,可以洗去原料气中的二氧化碳。 | ||
搜索关键词: | 一种 超纯氩 纯化 装置 | ||
【主权项】:
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