[实用新型]一种超纯氩纯化装置

权利要求书

1.一种超纯氩纯化装置，包括两个原料气供给系统、纯化系统以及两个产品气充装系统，所述两个原料气供给系统并联连接至所述纯化系统，每个所述原料气供给系统包括设于同一集装格中的若干储气瓶，所述两个产品气充装系统并联连接至所述纯化系统，其中一个所述产品充装系统包括若干充气瓶A，另一个所述产品充装系统包括设于同一集装格中的若干充气瓶B，其特征在于，所述纯化系统包括凝胶过滤单元和碱性洗涤单元，所述凝胶过滤单元包括一级或串联设置的至少两级过滤器，所述碱性洗涤单元包括一级或串联设置的至少两级容置有碱性洗涤液的第一洗涤塔，其中，第一级过滤器的入口与所述若干储气瓶连通，其余过滤器的入口与其前一级过滤器的出口连通，第一级第一洗涤塔的入口与最后一级过滤器的出口连通，其余第一洗涤塔的入口与其前一级第一洗涤塔的出口连通，最后一级第一洗涤塔的出口与所述若干充气瓶A或所述若干充气瓶B连通。

2.根据权利要求1所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述凝胶过滤单元包括两级过滤器。

3.根据权利要求1所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述碱性洗涤单元包括三级第一洗涤塔。

4.根据权利要求1所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述容置有碱性洗涤液的第一洗涤塔为容置有氨水的第一洗涤塔或容置有氢氧化钠的第一洗涤塔或容置有氢氧化钙的第一洗涤塔。

5.根据权利要求1所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述第一洗涤塔为立式，其入口位于其轴向中部，其出口位于其轴向顶部。

6.根据权利要求1所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述纯化系统还包括中性洗涤单元，所述中性洗涤单元包括一级或串联设置的至少两级第二洗涤塔，第一级第二洗涤塔的入口与最后一级第一洗涤塔的出口连通，其余第二洗涤塔的入口与其前一级第二洗涤塔的出口连通，最后一级第二洗涤塔的出口与所述若干充气瓶连通。

7.根据权利要求6所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述中性洗涤单元包括一级所述第二洗涤塔。

8.根据权利要求6所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述第二洗涤塔为立式，其入口位于其轴向中部，其出口位于其轴向顶部。

9.根据权利要求1所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，所述凝胶过滤单元与所述碱性洗涤单元之间还设有缓冲罐。

10.根据权利要求1所述的超纯氩纯化装置，其特征在于，相邻的所述第一洗涤塔之间还设有增压机。