[实用新型]一种溅射靶材的焊接工装有效
| 申请号： | 201920291057.X | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN209664529U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 卢建栋;张扬 | 申请（专利权）人： | 东曹(上海)电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/08 | 分类号： | B23K3/08;B23K37/053 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种溅射靶材的焊接工装，涉及工装夹具技术领域，包括用于支撑背管下端的底座、间隔设置于底座上方的压覆件以及用于连接底座和压覆件的锁紧组件；当靶材被套设在背管上后，底座上还成型有用于支撑靶材下端的支撑结构，锁紧组件驱动压覆件从上至下抵紧靶材的上端，且支撑结构上还设有用于密封靶材与背管间隙下侧开口的第一密封件。本实用新型提供了可提高靶材焊接便捷性，能提高靶材焊接效率，且能充分保证靶材焊接质量的一种溅射靶材的焊接工装。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 压覆件 背管 底座 本实用新型 焊接工装 溅射靶材 锁紧组件 支撑结构 焊接 从上至下 工装夹具 焊接效率 间隔设置 连接底座 下侧开口 便捷性 密封件 上端 抵紧 支撑 成型 密封 驱动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶材的焊接工装，其特征在于，包括用于支撑背管（1）下端的底座（3）、间隔设置于底座（3）上方的压覆件以及用于连接底座（3）和压覆件的锁紧组件（5）；当靶材（2）被套设在背管（1）上后，所述底座（3）上还成型有用于支撑靶材（2）下端的支撑结构，所述锁紧组件（5）驱动压覆件从上至下抵紧靶材（2）的上端，且所述支撑结构上还设有用于密封靶材（2）与背管（1）间隙下侧开口的第一密封件。/n
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