[实用新型]一种溅射靶材的焊接工装

权利要求书

1.一种溅射靶材的焊接工装，其特征在于，包括用于支撑背管（1）下端的底座（3）、间隔设置于底座（3）上方的压覆件以及用于连接底座（3）和压覆件的锁紧组件（5）；当靶材（2）被套设在背管（1）上后，所述底座（3）上还成型有用于支撑靶材（2）下端的支撑结构，所述锁紧组件（5）驱动压覆件从上至下抵紧靶材（2）的上端，且所述支撑结构上还设有用于密封靶材（2）与背管（1）间隙下侧开口的第一密封件。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材的焊接工装，其特征在于，所述底座（3）上竖直设置有用于插设背管（1）的插槽（31）。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材的焊接工装，其特征在于，所述底座（3）在插槽（31）上端开口处还内凹成型有用于嵌设靶材（2）的沉槽（32），所述沉槽（32）的底部构成用于支撑靶材（2）下端的支撑结构。

4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材的焊接工装，其特征在于，所述压覆件为套设于背管（1）外侧的上压环（4），所述上压环（4）下侧与靶材（2）上端面抵接，且所述上压环（4）内侧壁与背管（1）外侧壁之间设置有灌料间隙（10）。

5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材的焊接工装，其特征在于，所述锁紧组件（5）包括锁紧螺杆（51），所述锁紧螺杆（51）下端竖直穿设底座（3）并与底座（3）螺纹连接，所述锁紧螺杆（51）上端竖直穿设上压环（4），且所述锁紧螺杆（51）上还螺纹连接有锁紧螺母（52）；当所述锁紧螺母（52）被拧紧时，所述锁紧螺母（52）抵紧上压环（4）上表面。

6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材的焊接工装，其特征在于，所述锁紧组件（5）绕背管（1）至少圆周均匀设置有两组。

7.根据权利要求1或6所述的一种溅射靶材的焊接工装，其特征在于，所述底座（3）与压覆件之间平行间隔设置有若干抱紧环（6），各所述抱紧环（6）分别箍紧各段靶材（2）的相互抵接处，且所述抱紧环（6）的内侧还固定有密封垫片（62）。

8.根据权利要求2所述的一种溅射靶材的焊接工装，其特征在于，所述第一密封件为第一密封圈（8），且所述第一密封圈（8）环绕设置于插槽（31）上端开口边缘处。

9.根据权利要求2或8所述的一种溅射靶材的焊接工装，其特征在于，所述插槽（31）的底部还设置有第二密封圈（9），所述第二密封圈（9）套设于背管（1）下端端部附近。