[实用新型]一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，解决了现有的高温化学气相沉积设备中样品盒的取放比较麻烦，并且需要冷却一段时间之后才能将样品盒拿出，加热桶也会烫伤工作人员，增大了安全事故发生的可能性的问题，其包括加热桶，所述加热桶底端一侧开设有出气口，加热桶顶端一侧安装有保温盖，加热桶内侧中部嵌有旋转杆，旋转杆顶端安装有固定装置，固定装置内部安装有样品盒，本实用新型结构新颖，构思巧妙，使用方便，固定装置的安装使得样品盒的取放会更加的方便和快捷，而把手和伸缩杆的安装使得使得样品盒的取放更加的方便，避免工作人员由于加热桶表面温度过高发生烫伤，并且该装置比较牢固。

主权项

1.一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，包括加热桶(1)，其特征在于，所述加热桶(1)底端一侧开设有出气口(2)，加热桶(1)顶端一侧安装有保温盖(3)，加热桶(1)与保温盖(3)之间安装有连接装置(4)，加热桶(1)内侧中部嵌有旋转杆(5)，旋转杆(5)顶端安装有固定装置(6)，固定装置(6)内部安装有样品盒(7)，样品盒(7)内部底端安装有生长源(8)，样品盒(7)内部位于生长源(8)上方安装有衬底(9)，样品盒(7)顶端一侧铰接有样品盒盖(10)。/n