[实用新型]一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备有效
| 申请号： | 201920281904.4 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN209974883U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 陈宇;严丽红 | 申请（专利权）人： | 张家港迪源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/00 | 分类号： | C23C16/00 |
| 代理公司： | 32304 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 马丽丽 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市杨*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 样品盒 加热桶 取放 固定装置 气相沉积设备 本实用新型 高温化学 旋转杆 烫伤 加热桶底端 安全事故 顶端安装 内部安装 温度过高 保温盖 出气口 伸缩杆 嵌有 冷却 把手 | ||
1.一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，包括加热桶(1)，其特征在于，所述加热桶(1)底端一侧开设有出气口(2)，加热桶(1)顶端一侧安装有保温盖(3)，加热桶(1)与保温盖(3)之间安装有连接装置(4)，加热桶(1)内侧中部嵌有旋转杆(5)，旋转杆(5)顶端安装有固定装置(6)，固定装置(6)内部安装有样品盒(7)，样品盒(7)内部底端安装有生长源(8)，样品盒(7)内部位于生长源(8)上方安装有衬底(9)，样品盒(7)顶端一侧铰接有样品盒盖(10)。
2.根据权利要求1所述的一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，其特征在于，所述连接装置(4)包括弹簧钮(41)、第一卡扣(42)和第二卡扣(43)，加热桶(1)与保温盖(3)之间安装有弹簧钮(41)，加热桶(1)外侧上部安装有第一卡扣(42)，保温盖(3)外侧对应第一卡扣(42)位置处安装有第二卡扣(43)。
3.根据权利要求1所述的一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，其特征在于，所述固定装置(6)包括固定柱(61)、固定盒(62)、限位槽(63)、卡块(64)、限位块(65)和固定槽(66)，旋转杆(5)外侧上部安装有固定柱(61)，固定柱(61)顶端固定有固定盒(62)，固定盒(62)外侧对称开设有限位槽(63)，限位槽(63)内侧中部安装有卡块(64)，样品盒(7)外部一侧固定有限位块(65)，样品盒(7)底端中部开设有固定槽(66)。
4.根据权利要求1所述的一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，其特征在于，所述样品盒(7)顶端一侧安装有伸缩杆(11)，伸缩杆(11)顶端固定有把手(12)。
5.根据权利要求4所述的一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，其特征在于，所述把手(12)为弧形形状，把手(12)外部安装有防滑垫。
6.根据权利要求1所述的一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，其特征在于，所述样品盒(7)和样品盒盖(10)之间通过第三卡扣固定。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
