[实用新型]一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备有效
申请号: | 201920281904.4 | 申请日: | 2019-03-06 |
公开(公告)号: | CN209974883U | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 陈宇;严丽红 | 申请(专利权)人: | 张家港迪源电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00 |
代理公司: | 32304 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 马丽丽 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港市杨*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 样品盒 加热桶 取放 固定装置 气相沉积设备 本实用新型 高温化学 旋转杆 烫伤 加热桶底端 安全事故 顶端安装 内部安装 温度过高 保温盖 出气口 伸缩杆 嵌有 冷却 把手 | ||
本实用新型公开了一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备,解决了现有的高温化学气相沉积设备中样品盒的取放比较麻烦,并且需要冷却一段时间之后才能将样品盒拿出,加热桶也会烫伤工作人员,增大了安全事故发生的可能性的问题,其包括加热桶,所述加热桶底端一侧开设有出气口,加热桶顶端一侧安装有保温盖,加热桶内侧中部嵌有旋转杆,旋转杆顶端安装有固定装置,固定装置内部安装有样品盒,本实用新型结构新颖,构思巧妙,使用方便,固定装置的安装使得样品盒的取放会更加的方便和快捷,而把手和伸缩杆的安装使得使得样品盒的取放更加的方便,避免工作人员由于加热桶表面温度过高发生烫伤,并且该装置比较牢固。
技术领域
本实用新型涉及高温气相沉积技术领域,具体为一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备。
背景技术
高温化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术,高温化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料,这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物,但是现有的高温化学气相沉积设备中样品盒的取放比较麻烦,并且需要冷却一段时间之后才能将样品盒拿出,加热桶也会烫伤工作人员,增大了安全事故发生的可能性。
所以如何设计一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备,成为我们当前要解决的问题。
实用新型内容
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备,有效的解决了现有的高温化学气相沉积设备中样品盒的取放比较麻烦,并且需要冷却一段时间之后才能将样品盒拿出,加热桶也会烫伤工作人员,增大了安全事故发生的可能性的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:本实用新型包括加热桶,所述加热桶底端一侧开设有出气口,加热桶顶端一侧安装有保温盖,加热桶与保温盖之间安装有连接装置,加热桶内侧中部嵌有旋转杆,旋转杆顶端安装有固定装置,固定装置内部安装有样品盒,样品盒内部底端安装有生长源,样品盒内部位于生长源上方安装有衬底,样品盒顶端一侧铰接有样品盒盖。
优选的,所述连接装置包括弹簧钮、第一卡扣和第二卡扣,加热桶与保温盖之间安装有弹簧钮,加热桶外侧上部安装有第一卡扣,保温盖外侧对应第一卡扣位置处安装有第二卡扣。
优选的,所述固定装置包括固定柱、固定盒、限位槽、卡块、限位块和固定槽,旋转杆外侧上部安装有固定柱,固定柱顶端固定有固定盒,固定盒外侧对称开设有限位槽,限位槽内侧中部安装有卡块,样品盒外部一侧固定有限位块,样品盒底端中部开设有固定槽。
优选的,所述样品盒顶端一侧安装有伸缩杆,伸缩杆顶端固定有把手。
优选的,所述把手为弧形形状,把手外部安装有防滑垫。
优选的,所述样品盒和样品盒盖之间通过第三卡扣固定。
本实用新型结构新颖,构思巧妙,使用方便,固定装置的安装使得样品盒的取放会更加的方便和快捷,而把手和伸缩杆的安装使得使得样品盒的取放更加的方便,避免工作人员由于加热桶表面温度过高发生烫伤,并且该装置比较牢固。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是本实用新型整体结构示意图;
图2是本实用新型卡块安装结构示意图;
图3是本实用新型限位块安装结构示意图;
图4是本实用新型图1中A处放大示意图。
具体实施方式
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的