[实用新型]一种新型结构的石墨框

摘要

本实用新型公开了一种新型结构的石墨框，包括行列排列的实心石墨框凹槽，硅片放置在凹槽上，其特征在于凹槽四周的石墨框横梁上设置横向的通孔，通孔的方向与横梁的长度方向垂直；在通孔的上方设置纵向的孔，通孔和孔呈“丄”状。采取本实用新型的石墨框结构，兼具实心石墨框和空心石墨框的优点：既避免绕镀导致的外观不良、EL不良及效率偏低现象；同时避免吸盘漏吸或碎片导致的频繁暂停，增加设备的产能。