[实用新型]工作台装置及曝光机有效
| 申请号： | 201920244284.7 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN209674181U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 程亮 | 申请（专利权）人： | 广东思沃精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张全文<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于曝光设备技术领域，尤其涉及一种工作台装置及曝光机，工作台装置包括安装框、调位机构和两承载板，安装框的相对两侧分别安装于两承载板上，调位机构包括至少一个第一驱动气缸和至少一个第二驱动气缸，且各第一驱动气缸的滚轴丝杆均连接于安装框宽度方向的一侧的外边缘，各第二驱动气缸的滚轴丝杆均连接于安装框的长度方向的一侧的外边缘。各第一驱动气缸和/或各第二驱动气缸驱动安装框连同两承载板发生位移，这样便实现了待曝光产品相对于外界曝光件的相对位置关系的调整。由于工作台装置相对于曝光设备的装配关系无需变动，显著降低了待曝光产品相对于外界曝光件之间的相对位置的调节难度，实现了自动化调节，提升了调节效率。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动气缸 安装框 工作台装置 承载板 调位机构 滚轴丝杆 曝光产品 曝光设备 外边缘 相对位置关系 本实用新型 驱动安装 相对两侧 装配关系 曝光 曝光机 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种工作台装置，其特征在于：包括安装框、调位机构和两承载板，所述安装框的相对两侧分别安装于两所述承载板上，所述调位机构包括至少一个第一驱动气缸和至少一个第二驱动气缸，各所述第一驱动气缸的滚轴丝杆均连接于所述安装框宽度方向的一侧的外边缘，各所述第二驱动气缸的滚轴丝杆均连接于所述安装框的长度方向的一侧的外边缘。/n
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