[实用新型]工作台装置及曝光机

权利要求书

1.一种工作台装置，其特征在于：包括安装框、调位机构和两承载板，所述安装框的相对两侧分别安装于两所述承载板上，所述调位机构包括至少一个第一驱动气缸和至少一个第二驱动气缸，各所述第一驱动气缸的滚轴丝杆均连接于所述安装框宽度方向的一侧的外边缘，各所述第二驱动气缸的滚轴丝杆均连接于所述安装框的长度方向的一侧的外边缘。

2.根据权利要求1所述的工作台装置，其特征在于：所述调位机构还包括若干缓冲组件，各所述缓冲组件的缓冲端均连接于所述安装框的外边缘并分别与各所述第一驱动气缸和各所述第二驱动气缸相对设置。

3.根据权利要求2所述的工作台装置，其特征在于：各所述缓冲组件均包括安装座、弹性件和作为所述缓冲端的连接杆，所述安装座开设有通孔，所述弹性件安装于所述通孔内，所述连接杆的第一端插设于所述通孔内并与所述弹性件相连接，所述连接杆的第二端连接于所述安装框的外边缘。

4.根据权利要求3所述的工作台装置，其特征在于：各所述缓冲组件还均包括有导向套筒，所述导向套筒安装于所述通孔内并与所述弹性件间隔设置，所述连接杆的第二端穿过所述导向套筒并连接于所述安装框的外边缘。

5.根据权利要求3所述的工作台装置，其特征在于：所述安装框的外边缘对应各所述连接杆的位置均开设有沉孔，各所述连接杆的第二端均安装有凸台件，各所述凸台件分别嵌设于对应的各所述沉孔内。

6.根据权利要求1～5任一项所述的工作台装置，其特征在于：所述工作台装置还包括升降机构，所述升降机构包括两安装板，两所述安装板分别安装于两所述承载板背离所述安装框的一侧，且两所述安装板上均安装有若干第一升降气缸，各所述第一升降气缸的滚轴丝杆上均安装有支撑脚座。

7.根据权利要求6所述的工作台装置，其特征在于：两所述承载板对应各所述第一升降气缸的位置均开设有若干避空孔，各所述第一升降气缸分别穿过对应的各所述避空孔并安装于对应的所述安装板上。

8.根据权利要求6所述的工作台装置，其特征在于：所述升降机构还包括四个第二升降气缸，四个所述第二升降气缸的滚轴丝杆分别连接于两所述承载板长度方向的相对两端。

9.根据权利要求1～5任一项所述的工作台装置，其特征在于：所述第一驱动气缸的数量为两个，且两个所述第一驱动气缸的滚轴丝杆分别连接于所述安装框宽度方向一侧的外边缘的相对两端，所述第二驱动气缸的数量为一个，且所述第二驱动气缸的滚轴丝杆连接于所述安装框长度方向一侧的外边缘的中间位置。

10.一种曝光机，其特征在于：包括权利要求1～9任一项所述的工作台装置。