[实用新型]工作台装置及曝光机

说明书

本实用新型属于曝光设备技术领域，尤其涉及一种工作台装置及曝光机，工作台装置包括安装框、调位机构和两承载板，安装框的相对两侧分别安装于两承载板上，调位机构包括至少一个第一驱动气缸和至少一个第二驱动气缸，且各第一驱动气缸的滚轴丝杆均连接于安装框宽度方向的一侧的外边缘，各第二驱动气缸的滚轴丝杆均连接于安装框的长度方向的一侧的外边缘。各第一驱动气缸和/或各第二驱动气缸驱动安装框连同两承载板发生位移，这样便实现了待曝光产品相对于外界曝光件的相对位置关系的调整。由于工作台装置相对于曝光设备的装配关系无需变动，显著降低了待曝光产品相对于外界曝光件之间的相对位置的调节难度，实现了自动化调节，提升了调节效率。

技术领域

本实用新型属于曝光设备技术领域，尤其涉及一种工作台装置及曝光机。

背景技术

曝光设备内通常都安装有用于容置待成像待曝光产品的工作台。曝光设备在工作时，曝光件运动至对应于工作台的位置，并对放置于工作台上的待曝光产品进行曝光成像。

现有技术中，为确保曝光的精准性，待曝光产品一般固定安装于工作台上，其与工作台的相对位置关系无法改变。当需要调整待曝光产品相对于曝光件的位置关系时，则需要重新调整工作台在曝光设备内的装配位置，而上述过程耗时费力，且效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种工作台装置及曝光机，旨在解决现有技术中的曝光设备中重新调整工作台在曝光设备内的装配位置时耗时费力，效率低下的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种工作台装置，包括安装框、调位机构和两承载板，所述安装框的相对两侧分别安装于两所述承载板上，所述调位机构包括至少一个第一驱动气缸和至少一个第二驱动气缸，各所述第一驱动气缸的滚轴丝杆均连接于所述安装框宽度方向的一侧的外边缘，各所述第二驱动气缸的滚轴丝杆均连接于所述安装框的长度方向的一侧的外边缘。

进一步地，所述调位机构还包括若干缓冲组件，各所述缓冲组件的缓冲端均连接于所述安装框的外边缘并分别与各所述第一驱动气缸和各所述第二驱动气缸相对设置。

进一步地，各所述缓冲组件均包括安装座、弹性件和作为所述缓冲端的连接杆，所述安装座开设有通孔，所述弹性件安装于所述通孔内，所述连接杆的第一端插设于所述通孔内并与所述弹性件相连接，所述连接杆的第二端连接于所述安装框的外边缘。

进一步地，各所述缓冲组件还均包括有导向套筒，所述导向套筒安装于所述通孔内并与所述弹性件间隔设置，所述连接杆的第二端穿过所述导向套筒并连接于所述安装框的外边缘。

进一步地，所述安装框的外边缘对应各所述连接杆的位置均开设有沉孔，各所述连接杆的第二端均安装有凸台件，各所述凸台件分别嵌设于对应的各所述沉孔内。

进一步地，所述工作台装置还包括升降机构，所述升降机构包括两安装板，两所述安装板分别安装于两所述承载板背离所述安装框的一侧，且两所述安装板上均安装有若干第一升降气缸，各所述第一升降气缸的滚轴丝杆上均安装有支撑脚座。

进一步地，两所述承载板对应各所述第一升降气缸的位置均开设有若干避空孔，各所述第一升降气缸分别穿过对应的各所述避空孔并安装于对应的所述安装板上。

进一步地，所述升降机构还包括四个第二升降气缸，四个所述第二升降气缸的滚轴丝杆分别连接于两所述承载板长度方向的相对两端。

进一步地，所述第一驱动气缸的数量为两个，且两个所述第一驱动气缸的滚轴丝杆分别连接于所述安装框宽度方向一侧的外边缘的相对两端，所述第二驱动气缸的数量为一个，且所述第二驱动气缸的滚轴丝杆连接于所述安装框长度方向一侧的外边缘的中间位置。