[实用新型]一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置有效
| 申请号： | 201920243096.2 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN209662933U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 王建立;张义;马旺;王成新 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;B01D53/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，尾气通过导流罩向上流动进入过滤滤芯中进行过滤，导流罩呈圆锥形结构，因此气流上升时由于减速，从而容易使灰尘向下掉落，增加了螺旋换热管，因此冷却水泵将冷却水通过冷却水入水管输入螺旋换热管中将过滤滤芯和导流罩处冷却降温，增加尾气中灰的脱落几率，保证过滤滤芯不容易被堵塞，从而延长维护周期，冷却水吸热后通过冷去睡出水管流回冷却水泵中实现循环。经过过滤滤芯过滤后的气体通过尾气出气管进入原有的金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器中实现二次过滤，通过两次过滤可以使98%的碳粉被收集吸收，以至于进入主抽泵的碳粉非常少，大大延长主抽泵的维护周期。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤滤芯 导流罩 螺旋换热管 冷却水泵 维护周期 冷却水 主抽泵 碳粉 过滤 尾气 金属有机物化学气相沉积设备 金属有机化学气相沉积设备 吸热 冷却水入水管 尾气出气管 尾气收集器 圆锥形结构 二次过滤 冷却降温 两次过滤 气体通过 生产效率 出水管 上升时 原有的 掉落 减速 堵塞 吸收 保证 | ||
【主权项】：
1.一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，其特征在于，包括：/n筒体（1），其四周密闭，筒体（1）内设置有圆锥形的导流罩（2），导流罩（2）将筒体（1）隔离形成处于下端的进气腔（4）和处于上端的净化腔（5）；/n过滤滤芯（3），竖直设置于净化腔（5）中，所述过滤滤芯（3）下端的进气口与导流罩（2）上端相连接；/n螺旋换热管（12），自上而下盘绕设置于过滤滤芯（3）和导流罩（2）的外围，螺旋换热管（12）一端通过冷却水入水管（13）连接于冷却水泵的出口端，其另一端通过冷却水出水管（14）连接于冷却水泵的入口端；/n尾气进气管（6），连接于进气腔（4），所述尾气进气管（6）上安装有球阀Ⅰ（7），尾气进气管（6）的另一端连接于金属有机化学气相沉积设备的出气口；/n以及尾气出气管（8），连接于净化腔（5），所述尾气出气管（8）上安装有球阀Ⅱ（9），所述尾气出气管（8）的另一端连接于金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器的进气口。/n
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