[实用新型]一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置

权利要求书

1.一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，其特征在于，包括：

筒体（1），其四周密闭，筒体（1）内设置有圆锥形的导流罩（2），导流罩（2）将筒体（1）隔离形成处于下端的进气腔（4）和处于上端的净化腔（5）；

过滤滤芯（3），竖直设置于净化腔（5）中，所述过滤滤芯（3）下端的进气口与导流罩（2）上端相连接；

螺旋换热管（12），自上而下盘绕设置于过滤滤芯（3）和导流罩（2）的外围，螺旋换热管（12）一端通过冷却水入水管（13）连接于冷却水泵的出口端，其另一端通过冷却水出水管（14）连接于冷却水泵的入口端；

尾气进气管（6），连接于进气腔（4），所述尾气进气管（6）上安装有球阀Ⅰ（7），尾气进气管（6）的另一端连接于金属有机化学气相沉积设备的出气口；

以及尾气出气管（8），连接于净化腔（5），所述尾气出气管（8）上安装有球阀Ⅱ（9），所述尾气出气管（8）的另一端连接于金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器的进气口。

2.根据权利要求1所述的提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，其特征在于：还包括旁通管路（10），所述旁通管路（10）的上端与尾气出气管（8）相连，其下端与尾气进气管（6）相连，所述旁通管路（10）上设置有球阀Ⅲ（11）。

3.根据权利要求1所述的提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，其特征在于：还包括连接于净化腔（5）的泄压管（15），所述泄压管（15）上安装有泄压阀（16）。

4.根据权利要求1所述的提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，其特征在于：还包括设置于筒体（1）底部且与进气腔（4）相连的排灰口（17），所述排灰口（17）的头端扣装有端盖（18）。