[实用新型]一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置

说明书

一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，尾气通过导流罩向上流动进入过滤滤芯中进行过滤，导流罩呈圆锥形结构，因此气流上升时由于减速，从而容易使灰尘向下掉落，增加了螺旋换热管，因此冷却水泵将冷却水通过冷却水入水管输入螺旋换热管中将过滤滤芯和导流罩处冷却降温，增加尾气中灰的脱落几率，保证过滤滤芯不容易被堵塞，从而延长维护周期，冷却水吸热后通过冷去睡出水管流回冷却水泵中实现循环。经过过滤滤芯过滤后的气体通过尾气出气管进入原有的金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器中实现二次过滤，通过两次过滤可以使98%的碳粉被收集吸收，以至于进入主抽泵的碳粉非常少，大大延长主抽泵的维护周期。

技术领域

本实用新型涉及金属有机物化学气相淀积生产领域，具体涉及一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置。

背景技术

德国金属有机物化学气相淀积设备生产厂商爱思强（AIXTRON）生产的CRIUS II型金属有机物化学气相淀积（MOCVD）系统，该系统的核心工作主要是在反应室内完成，也就是在特定的压力和温度下，在反应室腔体内发生化学反应，形成化合物，再沉积到蓝宝石（Al₂O₃）衬底上，就产生外延的产品-外延片。

反应室是整个CRIUS II型金属有机物化学气相淀积（MOCVD）系统的核心，所有外围的准备都是为核心服务，反应室内发生化学反应后会有残留的废弃物产生，主要成分是碳（C），碳通过反应室底部的Y形管路进入原装尾气收集器CT500，通过尾气收集器后，80%的碳被原装尾气收集器收集，但还有20%的碳进入后边的主抽泵，由于有碳粉进入主抽泵，大大缩短主抽泵的维护周期，增加主抽泵维护时间和维修成本，降低产量，由于原装尾气收集器CT500随着收集的碳粉越来越多，其内部过滤滤芯必然容易形成堵塞，这样就需要经常拆下原装尾气收集器进行清理，更换其内部过滤滤芯，耽误生产，降低产量，增加人工成本，增加工作量。

目前，德国金属有机物化学气相淀积设备生产厂商爱思强（AIXTRON）生产的CRIUSII型金属有机物化学气相淀积（MOCVD）系统，还都是使用单个尾气收集器即原装尾气收集器，这种办法会降低产量，增加维修和维护成本。

发明内容

本实用新型为了克服以上技术的不足，提供了一种提高金属有机物化学气相淀积系统生产产量、延长设备主抽泵寿命的提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置。

本实用新型克服其技术问题所采用的技术方案是：

一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，包括：

筒体，其四周密闭，筒体内设置有圆锥形的导流罩，导流罩将筒体隔离形成处于下端的进气腔和处于上端的净化腔；

过滤滤芯，竖直设置于净化腔中，所述过滤滤芯下端的进气口与导流罩上端相连接；

螺旋换热管，自上而下盘绕设置于过滤滤芯和导流罩的外围，螺旋换热管一端通过冷却水入水管连接于冷却水泵的出口端，其另一端通过冷却水出水管连接于冷却水泵的入口端；

尾气进气管，连接于进气腔，所述尾气进气管上安装有球阀Ⅰ，尾气进气管的另一端连接于金属有机化学气相沉积设备的出气口；

以及尾气出气管，连接于净化腔，所述尾气出气管上安装有球阀Ⅱ，所述尾气出气管的另一端连接于金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器的进气口。

还包括旁通管路，所述旁通管路的上端与尾气出气管相连，其下端与尾气进气管相连，所述旁通管路上设置有球阀Ⅲ。

还包括连接于净化腔的泄压管，所述泄压管上安装有泄压阀。

还包括设置于筒体底部且与进气腔相连的排灰口，所述排灰口的头端扣装有端盖。