[实用新型]一种半导体材料研磨液生产用反应釜

摘要

本实用新型涉及半导体制品附属装置的技术领域，特别是涉及一种半导体材料研磨液生产用反应釜；方便放出工作腔内的全部物料，给使用者带来便利；并且，其工作模式较为多样，从而提高其使用可靠性；包括机箱、挡板、减速机、电加热棒和驱动电机，机箱内设置有工作腔，减速机位于驱动电机的底部输出端，驱动电机的底部输出端设置有传动轴；还包括两组第一伺服电机、两组第二电机、两组带动杆和导流板，工作腔的前侧壁和后侧壁分别设置有两组收缩架，两组收缩架的底端分别设置有两组收缩槽，两组带动杆的侧壁上均设置有多组固定板；还包括水箱、连通软管、高压泵、喷洒器、液压装置、清洁电机和连接辊，高压泵安装在连通软管上。