[实用新型]一种半导体材料研磨液生产用反应釜

说明书

本实用新型涉及半导体制品附属装置的技术领域，特别是涉及一种半导体材料研磨液生产用反应釜；方便放出工作腔内的全部物料，给使用者带来便利；并且，其工作模式较为多样，从而提高其使用可靠性；包括机箱、挡板、减速机、电加热棒和驱动电机，机箱内设置有工作腔，减速机位于驱动电机的底部输出端，驱动电机的底部输出端设置有传动轴；还包括两组第一伺服电机、两组第二电机、两组带动杆和导流板，工作腔的前侧壁和后侧壁分别设置有两组收缩架，两组收缩架的底端分别设置有两组收缩槽，两组带动杆的侧壁上均设置有多组固定板；还包括水箱、连通软管、高压泵、喷洒器、液压装置、清洁电机和连接辊，高压泵安装在连通软管上。

技术领域

本实用新型涉及半导体制品附属装置的技术领域，特别是涉及一种半导体材料研磨液生产用反应釜。

背景技术

众所周知，半导体材料研磨液生产用反应釜是一种用于对研磨半导体材料的研磨颗粒进行溶液的混合搅拌，以使研磨液满足生产加工要求的装置，其在精密零件生产的领域中得到了广泛的使用；现有的半导体材料研磨液生产用反应釜包括机箱、挡板、减速机、电加热棒和驱动电机，机箱内设置有工作腔，机箱的顶端设置有入料口，并且入料口与工作腔相通，挡板铰接安装在入料口处，机箱上设置有排料管，并在排料管上设置有排料阀，驱动电机安装在机箱的上方，减速机位于驱动电机的底部输出端，驱动电机的底部输出端设置有传动轴，并在传动轴上设置有搅拌叶，电加热棒安装在工作腔内；现有的半导体材料研磨液生产用反应釜在使用时，使用者打开挡板由入料口向工作腔内放入所需的半导体材料粉末颗粒和洁净水，打开驱动带动传动轴同时带动搅拌叶移动对工作腔内的混合液进行混合搅拌处理，工作结束后打开排料阀放出工作腔内的混合液即可；然而，现有的半导体材料研磨液生产用反应釜在使用中发现，其不方便放出工作腔内的全部物料，易导致部分物料滞留于工作腔内，导致其工作效率较低，给使用者带来不便；并且，其工作模式较为单一，不方便对工作腔内内进行清洁和清洗，使用效果较差，致使其使用可靠性较低。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种方便放出工作腔内的全部物料，可防止部分物料滞留于工作腔内，有效的提高其工作效率，给使用者带来便利；并且，其工作模式较为多样，方便对工作腔内进行清洁和清洗，使用效果较强，从而提高其使用可靠性的半导体材料研磨液生产用反应釜。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用反应釜，包括机箱、挡板、减速机、电加热棒和驱动电机，机箱内设置有工作腔，机箱的顶端设置有入料口，并且入料口与工作腔相通，挡板铰接安装在入料口处，机箱上设置有排料管，并在排料管上设置有排料阀，驱动电机安装在机箱的上方，减速机位于驱动电机的底部输出端，驱动电机的底部输出端设置有传动轴，并在传动轴上设置有搅拌叶，电加热棒安装在工作腔内；还包括两组第一伺服电机、两组第二电机、两组带动杆和导流板，工作腔的前侧壁和后侧壁分别设置有两组收缩架，所述两组收缩架的底端分别设置有两组收缩槽，两组第一伺服电机和两组第二伺服电机分别安装在所述收缩槽内的前侧和后侧，所述两组第一伺服电机的输出端和两组第二伺服电机的输出端分别设置有四组传动辊，并在所述四组传动辊的侧壁上均设置有多组活动板，所述两组带动杆的侧壁上均设置有多组固定板，并且所述多组固定板与卡板咬合，导流板的右端铰接于工作腔的右侧壁上，所述导流板顶端的前侧和后侧分别设置有两组活动架，两组带动杆的底端分别与铰接于所述两组活动架上；还包括水箱、连通软管、高压泵、喷洒器、液压装置、清洁电机和连接辊，水箱安装在机箱的侧壁上，所述水箱内设置有放置腔，水箱顶端设置有放料管，所述放料管上设置有箱盖，连通软管的输入端和输出端分别与浆料箱和喷洒器连通，高压泵安装在连通软管上，连通软管上设置有通水阀，工作腔顶端设置有连接槽，液压装置安装在所述连接槽内，所述液压装置的底端设置有连接板，清洁电机安装在所述连接板的底端，所述清洁电机的输出端设置有带动轴，连接辊安装在带动轴上，所述连接辊上设置有多组刷毛。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用反应釜，还包括透明板，机箱上设置有观察孔，并且所述观察孔与工作腔相通，所述透明板安装在观察孔上。