[实用新型]一种双管扩散炉有效
| 申请号： | 201920194236.1 | 申请日： | 2019-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN209906929U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 颜廷福 | 申请（专利权）人： | 青岛福润德微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/16;C30B29/06;H01L21/223;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种双管扩散炉，其包括机架、上下两层炉体、石英舟、送料机构、气源柜，上下两层炉体另一端分别连接有排毒箱，上层炉体上方罩设排风罩，炉体内设置连接气源柜的2根出气管，两出气管分别位于石英舟两侧且出气孔分别斜向上和斜向下设置，排毒箱由相嵌套的内外套筒组成，内外套筒之间的夹层与对应炉体连通使炉体内扩散气体进入夹层，内套筒中设置有排风板，排风板上设置有对应石英舟的排风孔，排风板内设置通道分别连通排风孔和相应夹层。该扩散炉内的扩散气体呈现螺旋环绕进气，相较于传统的直吹式进气，能够使炉体内气体分布更均匀，从而使扩散效果更好，同时该扩散炉能够利用排毒箱对硅片进行表面吹风清洁，提升了产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散炉 排风板 石英舟 夹层 炉体 排毒 上下两层 出气管 排风孔 气源柜 扩散 进气 套筒 连通 体内 本实用新型 斜向下设置 产品品质 螺旋环绕 上层炉体 送料机构 体内气体 出气孔 传统的 内套筒 排风罩 嵌套的 斜向上 直吹式 硅片 双管 罩设 吹风 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种双管扩散炉，其特征在于，包括机架、设置于机架上的上下两层炉体、用于承载待扩散元件至炉体内的石英舟、用于推送石英舟移动的送料机构、对应上下两层炉体一端设置的用于向炉体内输送扩散气体的气源柜，上下两层炉体另一端分别连接有排毒箱，上层炉体上方罩设排风罩，其中，上下两层炉体内分别设置连接气源柜的出气管，每个炉体内出气管设置为2根，两根出气管位于炉体中石英舟的左右两侧，两出气管上分别设置若干出气孔，其中一出气管上的出气孔对应石英舟方向斜向上设置，另一出气管上的出气孔对应石英舟方向斜向下设置，所述排毒箱由相嵌套的内外两套筒组成，内套筒上设置用于石英舟通过的通道孔，内外套筒之间的夹层与对应炉体连通使炉体内扩散气体进入夹层，内套筒中设置有排风板，排风板上设置有对应石英舟的排风孔，排风板内设置通道分别连通排风孔和相应夹层。/n
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